Occasion CANON EX4 #9247920 à vendre en France

CANON EX4
Fabricant
CANON
Modèle
EX4
ID: 9247920
Taille de la plaquette: 8"
Excimer stepper, 8".
CANON EX4 est un pas de plaquette de pointe, conçu comme la solution d'étape de prochaine génération en lithographie de précision et en analyse des matériaux. EX4 est un pas de balayage plein champ qui est capable de dimensions de champ d'exposition allant de 25mm à 300mm. Les caractéristiques de stepper ont augmenté l'alignement de précision en utilisant des éléments optiques télécentriques et l'automatisation de focalisation élargie, assurant une productivité et une répétabilité supérieures. Ces caractéristiques, combinées à CANON CSPI (Common Stepper Precision Initiative), permettent une précision de recouvrement maximale de 0,05 µm (20nm). CANON EX4 a une résolution maximale de 0,4 µm et peut effectuer jusqu'à 3 expositions par mort en une seule prise jusqu'à 8 μ m pour un grossissement faible ou 10 µm pour un grossissement haute résolution. Le stepper dispose également d'un équipement de placement double carte, qui permet à la fois un fonctionnement manuel et automatisé, permettant aux utilisateurs d'ajuster et d'afficher le motif de carte dans les formats de carte et d'image pour une efficacité et une précision accrues. EX4 a un système optique impressionnant qui offre une profondeur de focalisation allant jusqu'à 12µm, permettant un champ d'exposition plus rapide et plus précis. De plus, l'unité de rafraîchissement de la force du stepper est conçue pour détecter les erreurs d'exposition et ajuster l'axe des z de façon correcte sur tout le champ rapidement. La machine élimine également les interférences parasites de la lumière, assurant une imagerie précise. CANON EX4 est facile à entretenir et possède des mesures de sécurité supérieures pour le personnel et les produits. Entièrement intégrés au progiciel CANON Layout Manager, les utilisateurs peuvent également accéder à plus de 10 000 recettes et bibliothèques configurables en partie pour un contrôle et une répétabilité optimaux de l'exposition, ainsi qu'à un manipulateur de robot embarqué pour faciliter la manipulation de la carte. En fin de compte, EX4 est le pas de plaquette idéal pour les fabs et les universités qui ont besoin d'une précision supérieure et d'un bon fonctionnement. Avec ses dernières solutions de balayage de plaquettes et son fonctionnement sans problème, CANON EX4 est l'outil parfait pour la lithographie contrôlée, la précision et l'analyse des matériaux.
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