Occasion CANON EX5 #293778968 à vendre en France
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CANON EX5 est un marchepied phare fabriqué par CANON Inc. Il a été développé en 1986 et a été la norme de l'industrie pour la lithographie de précision depuis plus de 30 ans. EX5 est conçu pour des applications industrielles à haut volume, telles que la fabrication de puces, et est capable de produire des images micro-miniatures et complexes avec une précision supérieure. CANON EX5 est un équipement pas à pas capable de produire des images à partir d'une plaquette maîtresse jusqu'à 10 po de diamètre. Il est équipé de capacités de mouvement à cinq axes, permettant un contrôle de position complet et un alignement précis des plaquettes maître et cible. Le système dispose également d'une unité d'alignement unique, qui permet de positionner avec précision les matrices individuelles sur la plaquette cible. Avec sa répétabilité et sa précision de position élevées, EX5 est capable de produire des images avec des niveaux extrêmement élevés de détail et d'uniformité. CANON EX5 utilise le réseau sinusoïdal breveté CANON, qui est une technologie avancée de photolithographie qui permet une résolution plus fine que les méthodes de contact standard. Ceci est fait en plaçant un réseau sinusoïdal de faisceaux laser sur la plaquette, produisant un motif d'interférence qui expose des zones spécifiques sur la plaquette. En contrôlant les angles entre les lentilles et leurs centres, différentes structures peuvent être créées ou modifiées sur la plaquette. EX5 dispose également d'une technologie unique de chauffage de substrat, qui permet l'uniformité thermique des plaquettes maître et cible. On évite ainsi un étalement inégal des motifs et une distorsion de l'image causée par les variations de température. De plus, CANON EX5 offre également des paliers à base d'autofocus et d'autofocus améliorés, qui permettent à la machine de reconnaître les changements rapides dans la plaquette et d'ajuster rapidement la mise au point en conséquence. Enfin, EX5 présente une grande polyvalence en termes d'outillage, car il peut être utilisé avec des masques et des lentilles interchangeables, ainsi que des lentilles sur mesure. Cela permet un degré plus élevé de personnalisation en termes d'options de balisage et de lithographie. Toutes ces caractéristiques, combinées à leur abordabilité, font de CANON EX5 une solution de lithographie idéale pour toute application industrielle.
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