Occasion CANON EX6 #9352053 à vendre en France

CANON EX6
Fabricant
CANON
Modèle
EX6
ID: 9352053
Stepper.
CANON EX6 est un pas de plaquette utilisé dans le processus de fabrication des puces semi-conductrices. Il est utilisé pour produire les motifs les plus régulièrement détaillés et complexes sur la plaquette. Il est équipé d'un miroir d'imagerie qui sert à projeter l'image du masque sur la plaquette. Le miroir peut basculer et se concentrer sur les deux axes simultanément, ce qui permet d'obtenir la plus grande précision de placement et une correction de distorsion de l'image. EX6 dispose également d'un nouvel expandeur de ratio haute résolution (HRRE). Cette technologie fournit des caractéristiques d'imagerie extrêmement précises et précises pour des lignes plus fines et une focalisation stellaire sur toute la zone active de la plaquette. Le HRRE est équipé de 8 lentilles et 4 miroirs pour guider la lumière du masque sur la plaquette, et fournit un affichage de profil des lignes et des surfaces de < 0,08 μ m. De plus, CANON EX6 dispose d'un extraordinaire système d'accélération/décélération tridimensionnelle, qui réduit le temps de positionnement tout en maintenant la précision, et augmente la productivité. EX6 est conçu pour faciliter l'avancement de la mise à l'échelle des appareils en incorporant un système d'image numérique (DIS). Ce système utilise un tableau de capteurs d'image et intègre la technologie de rétroaction pour fournir des options pour optimiser la résolution des motifs. Le DIS permet de régler la vitesse de décélération du mouvement de l'étage et la vitesse de balayage pour positionner précisément la plaquette sur le masque. En plus de ces caractéristiques remarquables, CANON EX6 est conçu pour réduire les dommages aux particules et la contamination des particules de la plaquette en utilisant une technique de jet d'eau super pure pour nettoyer la plaquette pendant qu'elle est dans l'étage. EX6 a également été équipé de fonctions de diagnostic avancées pour permettre à l'utilisateur de personnaliser les paramètres d'alignement et de superposition. Son interface graphique intuitive et conviviale permet aux utilisateurs d'analyser les données de fonctionnement des paliers et d'optimiser les performances de fonctionnement. CANON EX6 est capable d'obtenir la plus grande précision, précision et qualité d'imagerie nécessaire à la fabrication de semi-conducteurs, et est le choix idéal pour ceux qui participent à la fabrication de puces semi-conductrices.
Il n'y a pas encore de critiques