Occasion CANON FPA 1550 MARK IV-W #9033673 à vendre en France

CANON FPA 1550 MARK IV-W
ID: 9033673
Wafer stepper.
CANON FPA 1550 MARK IV-W, un pas de plaquette, est un équipement de lithographie entièrement automatisé qui est conçu pour produire des caractéristiques de haute précision sur les substrats fragiles. Cette machine est capable d'atteindre des tailles de caractéristiques aussi petites que 25 nm de largeur de ligne, permettant la production de circuits intégrés semi-conducteurs, de dispositifs MEMS, et d'autres produits similaires. CANON FPA 1550 MARK IVW utilise des systèmes optiques avancés et un système à double source unique pour produire des images régulières et inversées, ce qui permet d'améliorer l'intégrité de l'exposition. Utilisant des champs électrostatiques et magnétiques, il est capable de contrôler la position et l'orientation du substrat de manière très précise. Cela est en outre combiné avec une source lumineuse d'exposition de haute intensité et une gamme de lentilles avec une large ouverture numérique. Cette unité comprend également une machine d'alignement automatisée qui utilise un processus en deux étapes. Il utilise un outil de balayage d'alignement grossier pour déterminer rapidement le bon alignement et comprend également un actif de balayage d'alignement fin qui est utilisé pour ajuster finement l'alignement des plaquettes et du substrat. Ceci permet un enregistrement précis des images sur le substrat. FPA-1550 MARK IV-W est également équipé d'un modèle avancé de chauffage et de refroidissement des étages qui assure une régulation précise de la température du substrat. Ceci garantit une performance optimale des photorésistants même en cas de fortes variations de température. Dans l'ensemble, FPA 1550 MARK IV-W est un équipement de lithographie très avancé qui est capable de produire des caractéristiques de haute précision sur des substrats fragiles avec des dimensions de caractéristiques de 25 nm ou moins. En utilisant un système à double source, un balayage automatique de l'alignement et une unité de chauffage et de refroidissement à étages, cette machine permet d'obtenir des résultats de qualité constante.
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