Occasion CANON FPA 1550 MARK IV-W #9196317 à vendre en France

CANON FPA 1550 MARK IV-W est un pas de plaquette utilisé dans le processus de production de semi-conducteurs pour transférer avec précision des motifs de lithographie sur des plaquettes. La machine est capable de traiter des substrats jusqu'à 24 cm de diamètre et peut atteindre une précision d'alignement de 2,5 μ m. Il utilise un équipement d'alignement entièrement motorisé qui comprend l'étage XY, la tourelle et l'étage linéaire Z afin d'assurer un contrôle précis du mouvement et une vitesse de traitement élevée. Le stepper utilise une lampe à arc de mercure pour projeter le maître de plaque sur une plaquette à une longueur d'onde de 193 nm. La machine est équipée d'un système LIPA (Laser Interference Pattern Aligner) qui mesure la relation spatiale entre le maître de plaque et la plaquette et permet un ajustement rapide du temps d'exposition. De plus, l'étape utilise l'exposition die-to-die pour assurer la précision nécessaire du motif lithographique. CANON FPA 1550 MARK IVW utilise des appareils programmables embarqués pour contrôler le taux de répétition et les conditions d'exposition. Il a également la possibilité d'utiliser un ordinateur externe pour simplifier les opérations complexes de génération de motifs. En outre, la machine est équipée de capteurs interférométriques laser 3D qui permettent une rétroaction et une correction en temps réel des mouvements des plaquettes. Pour des raisons de sécurité, le pas dispose d'un bouton d'arrêt d'urgence qui peut être utilisé pour couper immédiatement l'alimentation de l'appareil et déclencher une séquence d'arrêt en toute sécurité. De plus, la machine est capable de détecter les erreurs de chargement des plaquettes en utilisant une machine à capteurs à réseau optique. Globalement, FPA-1550 MARK IV-W est un pas avancé et fiable utilisé pour le traitement de lithographie complexe dans la production de semi-conducteurs. Son outil d'alignement motorisé et ses dispositifs programmables embarqués permettent une réaction et un réglage rapides, garantissant un niveau élevé de précision et d'efficacité. En outre, il dispose de nombreux mécanismes de sécurité pour améliorer le contrôle opérationnel et la protection du personnel et du matériel.