Occasion CANON FPA 2000 i1 #9134789 à vendre en France
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Vendu
ID: 9134789
Taille de la plaquette: 6"
Stepper, 6"
Wafer type: semi flat
Wafer chuck type: LC ring chuck
Track interface: DNS
Auto-feeder (in-line direction): Left, Type 2
Altitude: X m
Signal tower: yes
CE mark (Europe): yes
Edge beam removal: no
Reticle changer:
Reticle size: 5", type 2 with 14 slots
Reticle bar code reader: yes
Library slot number: 14
Workstation:
Workstation model: HP1000
Software:
Main software version: V5.25B
Gem software version: SECS
Facility requirements:
Main electrical supply: 3 Phase, 415 VAC
Exhaust
1x Heat exhaust for chamber
2x Control rack
(Setting 0.5 inc to 2 inc H2O)
CDA Supply: 3X 100psi
Cooling water supply: cooling Water in (pressure=1to5 kg/cm2)
Vacuum: 3X vacuum setting ≤ 550 mm Hg
Drain: 1X drain for chamber aircodition system
Chamber:
Chamber type: TBW-CD-50W
Wafer feeding unit:
Type of wafer feeding unit: Type II
Wafer size: 6"
Carriers: double carriers
Flat/notch finder: flat
Method: non-edge contact, back side holding
XY stage: 6" sliding stage
Tilt stage: yes
Reticle changer system: Type II with 14 slots
Size: 5" Reticle
Reticle alignment system: TV image processing with FRA2 mark
Alignment source: g-line
HeCd laser: No
Auto wafer alignment system:
Auto alignment source: HeNe Laser (1 for X, 1 for Y)
Method: through the len off axis auto alignment
Mode: die and die and AGA
Projection lens:
Magnification: X 1/5
Numerical aperture: 0.55
Illumintor:
Light source: 1 KW Hg Lamp
Exposure time control: light integrator
Masking function: variable with 4 independent masking blades
Auto focus:
Method: optical auto focus
Other: auto compensation for barometric pressure change
Mechanical prealignment: non-edge contact
TV prealigment: TV image processing
Monitor display: LCD.
CANON FPA 2000 i1 est un pas de plaquette, un type d'instrument de photolithographie utilisé pour produire des motifs spécifiques sur les bords des plaquettes semi-conductrices. Il est capable de produire des motifs de plaquettes avec une grande précision et précision dans une large gamme de tailles. CANON FPA2000-I1 a une grande taille de champ de 3 à 5 µm et peut effectuer l'alignement automatique du générateur de motifs et l'alignement des plaquettes dans un fonctionnement efficace et à grande vitesse. La photolithographie utilisée en FPA-2000I1 est basée sur la technologie de piste flexible, une caractéristique unique de CANON qui a une rigidité de flexion variable et peut être affinée pour chaque application. Cela lui permet de fournir un contrôle d'exposition de haute précision ainsi qu'un alignement et une couture rapides et précis pour les motifs semi-conducteurs les plus exigeants. CANON FPA 2000 I 1 est également équipé d'une fonction multi-exposition, ce qui lui permet d'améliorer l'uniformité des motifs. CANON FPA-2000I1 dispose d'un équipement d'exposition automatisé comprenant l'éclairage, la métrologie optique, la détection des bords et un processus d'exposition entièrement automatisé en boucle fermée. Il est conçu pour fonctionner en continu sans aucune intervention manuelle et peut obtenir un contrôle critique du modèle avec une seule exposition. Le système est équipé d'un rideau d'air et d'un contrôle de l'air sophistiqué qui réduit la contamination, ce qui est essentiel pour obtenir des modèles propres et à haute résolution. FPA 2000 i1 offre également des capacités de modélisation polyvalentes. L'unité peut exposer des motifs de résolution binaires et des lignes denses avec une grande précision, et elle peut également être utilisée pour former des motifs circulaires ou serpentins. L'instrument a également la capacité d'intégrer plusieurs modèles sur une seule plaquette au fil du temps. FPA-2000 I 1 comprend plusieurs fonctions de sécurité intégrées. Son étage motorisé est fermé et contrôlé en température pour maintenir un environnement stable, tandis que ses étages contrôlés par robot contrôlent le déplacement et l'orientation pour assurer une exposition précise. Un bouton d'arrêt d'urgence permet de bloquer les tentatives d'accès non autorisées. En résumé, CANON FPA-2000 I1 est un pas de plaquette de haute précision avec des fonctionnalités avancées qui offrent de superbes performances et fiabilité. Sa technologie de piste flexible et sa machine à exposition multiple en font un outil idéal pour toute application de fixation de plaquettes, et ses mesures de sécurité intégrées garantissent un fonctionnement sûr.
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