Occasion CANON FPA 2000 i1 #9298396 à vendre en France

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Fabricant
CANON
Modèle
FPA 2000 i1
ID: 9298396
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1992
Stepper, 6" Power: 15.3 kkVA Reticle size: 5", CANON STD Wafer feeder: Type-L PA Unit: 6", O.F Type Chamber: TBW-CD50 W Console version: V5.13B Illuminator: FPA-2000 i line A Scope: i-line, TTL T/Z-Tilt Unit: Piezo Stack,3 (L,M,R) Support mount: Servo passive damper 4 Lamp house: 1.5 kW Electrical: 3Ø, AC 200 V, 50/60 Hz 1992 vintage.
CANON FPA 2000 i1 est un pas de tranche avec une application de champ de 1:1, une ouverture numérique de 0,50 et une distance de travail de 2,6 mm. Le produit est conçu pour traiter avec précision différents types de plaquettes semi-conductrices. Il est polyvalent et peut traiter une large gamme d'applications de champ semi-conducteur de 150nm à 6,5 microns. CANON FPA2000-I1 offre un haut niveau de précision et de résolution pour le traitement de toutes sortes de plaquettes semi-conductrices. Le dispositif est en mode double et permet un traitement unique et multiple des plaquettes. Il est conçu avec une vitesse de traitement de 30 Hz pour une seule plaquette et jusqu'à 800 plaquettes par heure lors du traitement de plusieurs plaquettes. FPA-2000I1 utilise l'alignement laser pour assurer la précision du motif et le placement des réticules. FPA2000-I1 a un système de contrôle de l'atmosphère qui maintient une température de 19 ± 4 ° C et une humidité relative de 45 ~ 65 %. Il est équipé d'un grossissement continu de 1,0 à 12,5 x, et d'une résolution XY de 0,3 nm ce qui le rend idéal pour toute application où la précision et la précision sont essentielles. FPA-2000 I1 présente également une capacité d'implant EPI/ion, un balayage du faisceau porteur, une faible distorsion harmonique totale de 1 % à 400 x grossissement, un éclairage hors axe qui contrôle la lumière parasite et une manipulation des fibres optiques UV. Le pas de plaquette est équipé d'un alignement en quatre étapes qui assure une grande précision lors du traitement des plaquettes. En outre, la machine est conçue pour une utilisation en salle blanche et est capable de gravure chimique par voie humide. Il a un fabricant d'auto-coin intégré pour réduire le temps qu'il faut pour préparer une plaquette pour le traitement. CANON FPA-2000 I 1 a un écran à barre LED pour les notifications d'avertissement et un programmeur IC convivial. En conclusion, FPA 2000 I1 est un pas de plaquette optique conçu pour traiter une large gamme d'applications de plaquettes semi-conductrices. Il offre un haut niveau de précision et de résolution, fonctionnement en mode double, alignement laser, capacité d'implant EPI/ion, et d'autres fonctionnalités. De plus, son système de contrôle de l'atmosphère, son alignement en quatre étapes, son écran à barre LED et son programmateur IC convivial rendent l'appareil idéal pour les environnements de salle blanche.
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