Occasion CANON FPA 2000 i1 #9396114 à vendre en France
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CANON FPA 2000 i1 est un échelon de wafer qui utilise une ligne i, l'outil de travail le plus rentable de la famille CANON. Le FPA 2000 a à la fois une haute résolution et une précision permettant des temps de traitement précis. Le modèle i1 comprend un équipement de scanner avancé et des optiques exclusives CANON pour une meilleure définition des bords. Avec l'alignement laser et le rétroéclairage, ses niveaux de stabilité restent très faibles, permettant le plus haut niveau de succès. Il intègre également le système ScanShift breveté CANON, qui aide à améliorer l'enregistrement des fonctionnalités en étape et en répétition des applications. Ces caractéristiques permettent à la FPA 2000 de produire une grande variété de types d'appareils, y compris des systèmes interconnectés haute densité, CMOS haute tension, mémoire non volatile et des dispositifs MEMS. Son objectif et ses ouvertures sont configurés pour représenter les plus petites caractéristiques avec une longueur de ligne minimale de 0,18 microns avec une précision d'alignement < 5 nm. CANON FPA2000-I1 dispose également d'une unité de vide améliorée qui aide à réduire la contamination des particules et à augmenter la résolution. Parmi les autres caractéristiques notables, mentionnons la VLE Exposure Machine brevetée, un outil entièrement intégré de métrologie sans contact, un contrôle de processus de haut niveau à bord, ainsi qu'un atout d'alignement automatisé. Le modèle VLE offre non seulement un niveau élevé de précision et de répétabilité, mais il a également été démontré qu'il élimine virtuellement les variations transversales de la lithographie qui peuvent se produire dans différents substrats. Le FPA 2000 comprend un module d'interface avec une interface tactile qui permet aux utilisateurs de personnaliser facilement leurs recettes d'exposition. Son écran de contrôle avancé permet aux utilisateurs d'accéder à toutes les informations pertinentes pour leur processus et de contrôler une variété de paramètres, notamment ; position focale, aplatissement du champ, énergie d'exposition et position des éléments optiques. En outre, le module d'interface permet également aux utilisateurs de lier plusieurs recettes ensemble pour un traitement rapide. La précision de FPA-2000I1 en fait un excellent choix pour les besoins de production avancés. C'est une solution idéale pour toute une gamme d'applications, telles que la fabrication de dispositifs haute densité et MEMS. Avec ses champs stables, il est capable de s'attaquer aux produits les plus difficiles et il est également très fiable.
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