Occasion CANON FPA 2500 i2 #293608643 à vendre en France

CANON FPA 2500 i2
Fabricant
CANON
Modèle
FPA 2500 i2
ID: 293608643
Style Vintage: 1994
Stepper 1994 vintage.
CANON FPA 2500 i2 est un pas de plaquette conçu pour les environnements de production. Il utilise une méthode d'alignement bidimensionnelle afin de créer avec précision un rendement élevé de motifs précis sur la surface de la plaquette. Cette machine de pointe a une résolution maximale de 0,3 um et une taille de champ de 9,6 mm x 9,6 mm. L'application principale de CANON FPA-2500I2 consiste à effectuer des travaux de finition et de lithographie sur divers matériaux, dont le métal, le GaAs et le SOI. FPA-2500 I2 est équipé d'un équipement exclusif d'optique de projection CANON, y compris un système de grossissement flexible Edmund Optics. Cette unité offre des capacités d'imagerie haute résolution et permet un alignement et une exposition rapides et répétables. La machine d'optique de projection fonctionne avec des lentilles Fluorite de 250 mm et une source d'énergie cathodique LaB6. FPA 2500 i2 dispose d'un outil d'imagerie haute résolution pour l'alignement des masques. L'actif utilise quatre caméras vidéo CCD pour déterminer l'emplacement précis du motif de masque sur la surface de la plaquette. Le modèle d'alignement peut être rapidement calibré et ajusté pour aligner avec précision le motif du masque avec la plaquette. En outre, l'équipement d'imagerie dispose d'un temps de capture de fenêtre rapide de 0,24 secondes et a amélioré 8M résolution de pixel. Pour une fiabilité accrue, FPA 2500 I2 dispose d'un système de capteur de poids de film qui s'ajuste automatiquement pour corriger les différents poids de film. Il dispose également d'une unité de nettoyage automatisée qui réduit le temps de cycle et ou prévient la contamination par les poussières de l'optique. CANON FPA-2500 I2 est un pas de plaquette puissant et efficace. Sa machine de grossissement flexible Edmund Optics peut augmenter les rendements, tandis que son outil de capteur de poids de film, son outil de nettoyage automatisé et son modèle d'alignement avancé garantissent des résultats précis et reproductibles. Ce pas de plaquette est un outil très fiable et productif pour la lithographie avancée et les applications de finition.
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