Occasion CANON FPA 2500 i2 #9033675 à vendre en France

CANON FPA 2500 i2
Fabricant
CANON
Modèle
FPA 2500 i2
ID: 9033675
Wafer stepper.
CANON FPA 2500 i2 Wafer Stepper est un équipement de lithographie de nouvelle génération conçu pour la fabrication de semi-conducteurs de haute précision. Le système est équipé d'un actionneur de haute précision avec une grande portée contrôlable, une unité de projection avec des éléments optiques avancés, et une machine d'éclairage supérieure. CANON FPA-2500I2 est conçu pour des procédés de lithographie avancés, de sub-micron à plusieurs centaines de microns de large, avec une précision répétable jusqu'à 0,5 nm. L'outil utilise un actionneur porte-air à double pression, qui utilise la pression d'air pour déplacer la plaquette de façon précise par paliers sous microns. En raison de sa large gamme contrôlable, il peut être utilisé pour traiter une grande variété de motifs qui sont jusqu'à plusieurs centaines de microns de large avec une répétabilité très recherchée. L'actif dispose d'un modèle de projection composé de systèmes optiques avancés uniques qui augmente la précision des offres de lithographie. En outre, il intègre un équipement d'éclairage supérieur qui utilise une fente annulaire avec un déphasage avancé et une structure de masque allumé, ce qui peut améliorer la profondeur de champ et la résolution d'image. En outre, FPA-2500 I2 Wafer Stepper comprend un certain nombre de caractéristiques de sécurité. Il utilise un système automatisé de surveillance de la force optique de balayage qui prévient les dommages de surface ou la destruction des couches de silicium lors des étapes d'exposition, détectant toute variation de pression avant le début de l'imagerie. Le pas de plaquette est équipé d'une unité d'observation de précision qui peut contrôler la température de la machine et surveiller les défauts en temps réel. Globalement, FPA-2500 I2 est un pas de plaquette supérieur conçu pour des applications de lithographie de précision telles que la fabrication de semi-conducteurs. Il utilise un actionneur double pression et des éléments optiques supérieurs pour garantir une précision détaillée et répétable au niveau du nanomètre. En outre, ses caractéristiques de sécurité garantissent que les opérateurs sont en mesure de profiter d'un fonctionnement facile et fiable avec des résultats de qualité.
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