Occasion CANON FPA 2500 i2 #9238502 à vendre en France

CANON FPA 2500 i2 est un pas à haut débit entièrement automatisé pour le traitement photolithographique des plaquettes semi-conductrices. L'équipement se compose d'un système optique à réflexion totale avancée avec une grande distance de travail et une ouverture numérique élevée (NA). Cela permet à l'unité de traiter des plaquettes d'un diamètre allant jusqu'à 200mm et avec une tolérance de forme externe allant jusqu'à 3µm. Les plaquettes sont montées sur la machine à l'aide d'un étage de contact sous vide avec capteur à 6 axes et d'un compteur de tension pour assurer une image stable et répétable sur toute la surface de la plaquette. L'outil dispose d'une phase d'alignement avancée utilisant une combinaison de techniques d'appariement de motifs à basse vitesse et à grande vitesse, qui est couplée à des techniques d'exposition multiples permettant l'imagerie répétable de motifs à haute résolution. L'actif est également équipé d'un large éventail de modes d'exposition, tels que l'exposition normale et rapide, le piquage de champ exposé et le balayage de réseau, qui permet l'imagerie de structures même complexes avec précision et haut débit. Le modèle intègre un équipement avancé d'étalonnage des images pour s'assurer que les images produites sur plusieurs plaquettes restent cohérentes. En outre, le système dispose également d'une unité de gestion thermique qui est conçue pour réduire les effets négatifs des décalages de température sur la précision d'exposition. CANON FPA-2500I2 comprend également un microcontrôleur puissant qui permet de personnaliser les réglages de l'opérateur, une machine de chargement et de déchargement entièrement automatisée des plaquettes et des systèmes avancés de surveillance de l'exposition qui garantissent des performances fiables et répétables de l'outil. L'actif est capable de produire des images de photolithographie extrêmement précises avec un degré élevé de précision, à des doses d'exposition inférieures à 0,2 J/cm ², sur une tranche de 200mm (8 po). Le 3000i2 est donc idéal pour les applications de photolithographie où l'imagerie haute vitesse et précision des motifs haute densité est essentielle.