Occasion CANON FPA 2500 i2 #9298394 à vendre en France

CANON FPA 2500 i2 Wafer Stepper est un outil de lithographie de précision conçu pour traiter une multitude de lignes ultra fines, de motifs et de fonctionnalités grâce à l'imagerie photolithographique. L'équipement utilise un laser ArF Excimer de 5 mégawatts et est conçu pour répondre aux exigences rigoureuses du circuit d'ultra-haute précision et de la fabrication d'appareils. Il est capable d'imprimer une large gamme de dispositifs microélectroniques, y compris des variétés SOC et des composants médicaux, sur une variété de substrats. Le système est composé de plusieurs composants de précision, tels qu'un laser excimère ArF de 5 mégawatts, un étage XY pour le placement de précision, une lentille optique de précision et une structure robotique à 6 axes. Le laser excimère ArF est sorti à une longueur d'onde de 193 nm et a une durée d'impulsion de 10 n. Le faisceau laser est alors dirigé sur le substrat via la lentille optique. Une fois que le faisceau est incident sur le substrat, l'étage XY est utilisé pour positionner avec précision le motif global requis par l'application. La structure robotique 6 axes de CANON FPA-2500I2 est conçue pour une utilisation optimale des capacités du laser. Le robot dispose d'un lecteur pas à pas multi-axes, ce qui permet un positionnement sous-micron avec une vitesse de balayage maximale de 100.000mm/s. Cela permet de placer des caractéristiques de haute précision dans un motif de champ dispersé de grande surface. Il offre également plusieurs options de balayage parallèle, permettant un balayage simultané dans plusieurs directions. FPA-2500 I2 Wafer Stepper offre une excellente option pour les besoins en nanofabrication. Sa combinaison de précision, de vitesse et de flexibilité en font une solution idéale pour la production de composants microélectroniques et médicaux. L'unité offre également une variété de fonctionnalités de post-traitement, telles qu'un compteur d'analyse de faisceau et un micro-flatteur intégré. De plus, la machine est équipée d'une caméra CCD et d'un outil d'alignement laser grille, qui permettent l'enregistrement efficace de motifs de grande surface.