Occasion CANON FPA 2500 i2 #9298425 à vendre en France
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ID: 9298425
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1994
Stepper, 6", parts system
Power: 18.7 kVA
Reticle size: 6", CANON STD
Wafer feeder: Type-L
PA Unit: 6", O.F Type
Chamber: TBW-CD60
Illuminator: FPA-2500 i line
A Scope: i-line, TTL
T/Z-Tilt Unit: 3 (L,M,R)
Support mount: Servo passive damper 4
Lamp house: 1.5 kW
Electrical: 3Ø, AC 200 V, 50/60 Hz
1994 vintage.
CANON FPA 2500 i2 wafer stepper est un appareil de précision utilisé principalement dans la fabrication de circuits intégrés. En effet, il s'agit d'un pas optique, c'est-à-dire qu'il utilise la lumière pour représenter des motifs sur un étage réticulaire pour l'impression sur des plaquettes ou autres substrats. Ce pas utilise un laser YAG de 200 watts de grande puissance pour modeler ses réticules à des résolutions allant jusqu'à 0,5 µm, ce qui permet une imagerie très précise de ses motifs sources. Pour assurer la précision, il dispose d'un système de positionnement doté d'un Z-Axis motorisé, qui est utilisé pour déplacer le réticule et l'aligner correctement avec la plaquette. La machine est construite à partir d'un mélange de métaux et de composites, lui donnant une force immense et améliorant sa fiabilité. L'optique du dispositif est composée d'éléments réfractifs, diffractifs et autres hautes performances, permettant une imagerie supérieure. De plus, l'optique est maintenue dans un environnement constant à l'aide d'une chambre sans poussière Nikon, qui élimine les débris et les contaminants qui peuvent causer des erreurs d'imagerie. CANON FPA-2500I2 est compatible avec tous les systèmes de lithographie DUV/NUV. Avec ses contrôles de haute précision et ses capacités d'imagerie de précision, ce pas de plaquette peut produire des images exceptionnellement complexes, que ce soit sur des plaquettes de silicium, des puces ou des substrats similaires. La machine dispose de deux ports série qui peuvent être utilisés pour connecter des contrôleurs externes, permettant le traitement d'images puis l'envoi à l'étape. En outre, un lecteur CD-ROM et un disque dur de 2,4 Go sont inclus, qui permettent aux utilisateurs de sauvegarder et de charger rapidement les données. Enfin, la machine est conçue pour fonctionner jusqu'à une température de 35 ° C, de sorte que les opérateurs peuvent travailler dans des environnements relativement chauds sans compromettre les résultats. En conclusion, FPA-2500 I2 wafer stepper est un équipement impressionnant. Sa combinaison de matériel fiable et d'éléments optiques sophistiqués en font un choix haut de gamme pour la fabrication de circuits intégrés et d'autres applications de précision.
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