Occasion CANON FPA 2500 i2 #9298440 à vendre en France

CANON FPA 2500 i2 est un pas de tranche et répétition haut de gamme conçu pour la production de plaquettes à haut débit. Il est capable de traiter des plaquettes de 150mm à 450mm de diamètre, offrant une précision, une répétabilité et un débit sans précédent. Son temps de balayage rapide le rend idéal pour les substrats utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs, en plus d'être un excellent choix pour un prototypage rapide et une production à haut volume. L'étage de plaquettes CANON FPA-2500I2 utilise un équipement de faisceau ionique de focalisation (FIB) dédié pour placer chaque plaquette avec précision sur le plan de référence. Un système intégré d'imagerie haute résolution permet également d'assurer un placement précis de chaque plaquette. Pour assurer la précision et la répétabilité, FPA-2500 I2 est équipé d'une unité d'entraînement par étage composée de deux moteurs qui sont utilisés pour positionner la plaquette dans les axes X et Y. En outre, la machine est conçue pour accepter des températures de plaquettes allant de -60 à 160 ° C, ce qui permet de déposer et de traiter des températures qui conviennent à une grande variété d'applications. L'outil d'imagerie optique se compose d'un objectif macro-objectif 10x et de deux lentilles planes (télécentriques) qui supportent un capteur unique avec une taille de pixel de 20 μ m. Ceci fournit une visualisation précise de chaque bord de plaquette, qui est utilisé pour détecter et corriger les désalignements. Cela garantit une excellente morphologie des plaquettes et l'intégrité des bords lors de la prise de vue et par la suite le soulagement des plaquettes. D'autres caractéristiques du FPA-2500 I 2 comprennent un moniteur de déplacement laser optimisé, un moyen de refroidissement à deux étages, et une bride Dewar intégrée pour la fixation facile du manutentionnaire de plaquettes. Le FPA 2500 I 2 est également construit pour pouvoir manipuler un maximum de trois couches de plaquettes à la fois, avec une capacité de charge maximale d'environ 500kg (7,5 tonnes). FPA 2500 i2 est un pas de plaquette premium conçu pour répondre aux besoins des applications de production les plus exigeantes. Grâce à son débit élevé et à sa précision, il est adapté aux grandes séries de production, tandis que son jeu de caractéristiques avancé et sa conception robuste le rendent idéal pour la production de plaquettes dans des conditions de fabrication extrêmes. Avec son emplacement de plaquettes FIB, ses capacités d'imagerie haute résolution et sa plage de température flexible, CANON FPA-2500 I2 est un outil essentiel pour toute installation de production.