Occasion CANON FPA 2500 i3 #293601755 à vendre en France

CANON FPA 2500 i3 est un pas de plaquette de type immersion qui permet des processus de lithographie de précision avec des motifs à haute résolution. Le pas fonctionne en projetant de la lumière à travers un masque sur une surface de plaquette enduite de photorésist. La machine est capable de produire des motifs avec une résolution de 0,25-1,0 micromètre. La conception de plateforme de CANON FPA-2500I3 est légère et flexible, ce qui permet à la machine d'être utilisée dans une variété de paramètres. La machine supporte plusieurs systèmes optiques tels que : i-LINE, DUV et DUV ArF. Le masque adopte un réticule turbo-rotatif de 6 "pour une productivité améliorée et un recouvrement de motif plus faible. En outre, le stepper dispose d'une grande surface de travail qui permet de traiter des plaquettes de plus grande taille. Pour la protection contre la contamination de surface, l'optique de la machine est conçue pour être immergée dans le liquide et enfermée. Pour mieux protéger l'optique, un ioniseur est intégré à la machine pour éliminer l'électricité statique de l'environnement. Cela garantit qu'il n'y a pas d'interférence avec la qualité de l'image. La machine dispose également d'une unité ACR (anti-contamination-reflex), qui aide à réduire la quantité de particules dans l'air de 95 %. Le haut débit est un objectif majeur du CANON FPA-2500 I3 et la machine est équipée d'un certain nombre de fonctionnalités pour y parvenir. La caméra intègre un capteur CCD à cinq puces qui permet une capture d'image plus rapide. L'amplificateur peut traiter jusqu'à 170 plaquettes/heure, tout en permettant une excellente fidélité à l'image et en produisant des motifs à haute résolution. Pour augmenter encore le débit, la machine utilise la fonction CANON « Autofocus-and-Align » qui permet un alignement rapide et précis du masque et de la plaquette. La machine fonctionne avec l'utilisation d'un ordinateur de bord, qui est connecté à tous les différents contrôleurs de mouvement. Ce système de contrôle centralisé assure une grande précision et précision. En outre, la machine dispose d'une interface de communication intégrée qui permet les opérations à distance, le transfert de données et le diagnostic de la machine. Par mesure de sécurité, la machine dispose également d'un dispositif anti-bris, qui empêche la machine de se déplacer avant une vérification correcte de tous les paramètres d'alignement par l'utilisateur. Dans l'ensemble, FPA-2500I3 est une excellente machine pour les procédés de lithographie de précision. Il est hautement automatisé et peut produire des motifs haute résolution d'excellente qualité avec un débit élevé. La flexibilité et la sécurité de la machine en font un outil idéal pour de nombreux types d'applications.