Occasion CANON FPA 2500 i3 #293749144 à vendre en France
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ID: 293749144
Stepper
Accuracy: 0.4 µm
Auto focus repeatability: 3 Sigma ≤ 0.12µm
Die by die levelling repeatability: 3 Sigma ≤ 10ppm
Mechanical alignment accuracy: 3 Sigma ≤ 40µm
Lens performance:
Resolution: ≤ 0.40µm
Depth of focus: ≥ 0.8µm
Image field deviation: R ≤ 0.55µm
Distortion (including mag.): ≤ 0.07µm
Illumination:
Intensity (1.5 kW input): ≥ 550 mW/cm²
Uniformity: ≤ 1.2%
Light integrator accuracy: ≤ +1.2%
Masking blade accuracy: ≤ +100µm
Alignment:
Reticle rotation accuracy: ≤ +0.02µm
Reticle rotation repeatability: R ≤ +0.03µm
AGA HeNe TV Alignment: lml+3sigma ≤ 0.10µm
AGA B2 TV Alignment: lml+3sigma ≤ 0.10µm
XY Stage:
Stepping accuracy: 3 Sigma ≤ 0.06µm
Scaling: ≤ +1.0 ppm
Orthogonality: ≤ +1.0 ppm
Throughput:
Left inline:
Levelling off:
6" (45s) ≥ 62/hr
8" (78s) ≥ 44/hr
Levelling on:
6" (45s) ≥ 57/hr
8" (78s) ≥ 40/hr
Right inline:
Levelling off:
6" (45s) ≥ 61/hr
8" (78s) ≥ 44/hr
Levelling on:
6" (45s) ≥ 56/hr
8" (78s) ≥ 40/hr
Reliability: Reticle running and wafer running.
CANON FPA 2500 i3 est un pas de plaquette conçu pour la lithographie de haute précision. Il utilise un équipement de projection haute résolution pour transférer avec précision et rapidité des motifs de circuit sur des plaquettes. Le système peut basculer entre des expositions de différentes résolutions et angles avec un minimum de temps et d'énergie. L'objectif de projection de haute précision est idéal pour diverses techniques d'imagerie critique, y compris la lithographie UV profonde et la lithographie pas à pas et répétition. L'unité peut traiter plusieurs types de supports, tels que 8 pouces, 12 pouces, et de grands substrats. CANON FPA-2500I3 stepper utilise une puissante balayeuse à deux axes pour profiter pleinement de son objectif de projection. En outre, il dispose d'un cadre de haute stabilité et d'un outil d'amortissement des vibrations dédié qui réduisent les vibrations et améliorent la précision. Les servomoteurs et les commandes de mouvement haut de gamme de l'actif offrent des performances très précises et reproductibles. Le modèle utilise un équipement de commande électronique en boucle fermée pour obtenir la plus grande précision réelle d'imagerie. La technologie spéciale d'alignement et de diffusion contribue également à augmenter la précision. FPA-2500 I3 utilise une interface robotique avancée et est capable de supporter des ensembles en ligne et inclinés. Il utilise une combinaison de capteurs d'alignement de vision et de systèmes de mesure sans contact. Cela garantit que la plaquette peut être positionnée correctement avant l'exposition, en éliminant tout désalignement. En plus de ses capacités d'imagerie, CANON FPA-2500 I 3 possède également des caractéristiques avancées en matière de sécurité et d'environnement. Sa conception avancée de circuit refroidi par air maximise l'efficacité du refroidissement, de sorte que les utilisateurs n'ont pas à se soucier de la surchauffe. Et le logiciel du système peut être mis à jour à distance sur une connexion réseau. Enfin, FPA-2500 I 3 est très fiable et est livré avec une garantie standard d'un an. La société propose également des contrats de service prolongés, ce qui en fait un choix idéal pour les utilisateurs qui exigent des performances fiables sur une longue période. Avec ses caractéristiques impressionnantes et ses capacités d'imagerie de haute précision, le CANON FPA 2500 I 3 est l'un des meilleurs marchands de plaquettes sur le marché.
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