Occasion CANON FPA 2500 i3 #293809116 à vendre en France

Fabricant
CANON
Modèle
FPA 2500 i3
ID: 293809116
Style Vintage: 1994
Stepper 1994 vintage.
CANON FPA 2500 i3 wafer stepper est une machine lithographique haute performance et haute résolution utilisée pour la production de petits dispositifs et composants semi-conducteurs au noeud de 0,25 micron. Il dispose d'un grand champ de vision avancé qui utilise l'optique i-line pour générer des motifs sur la surface du substrat avec une grande précision et précision. CANON FPA-2500I3 dispose de 9 500 pixels pas à pas, ainsi que des capacités d'alignement actif pour améliorer NA (ouverture numérique) si nécessaire. Cela permet de placer et de superposer des motifs précis et reproductibles d'une plaquette à l'autre, ainsi que d'un lot à l'autre. Il est équipé d'une lentille de projection 1:1, qui permet de générer des motifs uniformément répartis sans avoir besoin d'une œuvre d'art. De plus, le pas i3 intègre un étage 10x, ce qui le rend idéal pour les grandes plaquettes. FPA-2500 I3 Wafer Stepper est conçu pour traiter une gamme de substrats, de 4 pouces à 12 pouces. Il est équipé d'un équipement d'imagerie avancé pour fournir une résolution optimale pour différentes expositions. De plus, l'étape comprend un module de brosse à air pour assurer la cuisson intégrée et le dégazage du substrat avant l'exposition. FPA-2500 I 3 est capable de fonctionner à une vitesse maximale de 500 plaquettes par heure, avec un débit maximal de 75 plaquettes par heure. FPA 2500 I 3 Wafer Stepper dispose d'un système de régulation de température multi-zones qui ajoute une uniformité à l'environnement d'exposition et assure une grande précision et un débit élevé. De plus, le stepper comprend une unité anti-vibration à faible distorsion qui réduit la distorsion thermique dans les substrats. Il comprend également une machine Active Clean pour réduire l'électricité statique, assurant ainsi l'uniformité et la précision pendant le traitement. CANON FPA-2500 I3 Wafer Stepper est équipé d'un outil d'exploitation convivial pour fournir un fonctionnement très efficace et intuitif. De plus, l'actif est livré avec une suite logicielle spécialisée qui aide à réduire le temps et le coût associés aux tests et à la vérification de nouveaux substrats. L'alimentation CANON FPA-2500 I 3 est optimisée pour un fonctionnement fiable et cohérent, ce qui réduit la complexité du processus de configuration. Le stepper est livré avec des mécanismes anti-corrosion intégrés et la conception anti-poussière pour augmenter la fiabilité et réduire les coûts d'entretien.
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