Occasion CANON FPA 2500 i3 #293817809 à vendre en France
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ID: 293817809
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.6
Resolution: 400 nm
Throughput (WPH): 44-200.
CANON FPA 2500 i3 wafer stepper est un saut majeur dans la technologie de lithographie. Il est conçu pour être utilisé dans la production de circuits intégrés très complexes dans l'industrie électronique. Sa précision et ses capacités ouvrent un large éventail de nouvelles possibilités pour le développement d'IC de pointe. CANON FPA-2500I3 a une taille de 5 microns et peut atteindre environ 0,15 micron de largeur de ligne avec une précision de 25 nm de recouvrement. De plus, il peut distribuer des doses d'exposition multiples à faible dose et à haute résolution sans avoir besoin d'une longue concentration. Cela le rend adapté à la prochaine génération d'IC à moyenne et haute tension. FPA-2500 I3 fonctionne avec une longueur d'onde de 157 nm, ce qui le rend extrêmement adapté à des applications telles que les technologies de 0,18 μ m à 65 nm. L'outil offre une grande homogénéité de motifs et peut compenser des erreurs d'alignement allant jusqu'à 0,30 micron. Ceci permet de réaliser des motifs très précis sans nécessiter un nombre élevé d'expositions. Le stepper est également équipé d'un contrôleur au niveau de la plaquette qui est capable d'effectuer un alignement rapide de la plaquette, le réglage auto-focus et la collecte de données au niveau de la plaquette. Il a la capacité de gérer plusieurs plaquettes à la fois, et il peut être mis à jour avec les derniers logiciels et algorithmes pour permettre le plus haut pic de précision et de précision. En termes de productivité, le FPA 2500 I 3 est l'un des paliers les plus rapides du marché. Il a une vitesse de balayage allant jusqu'à 120 mm/sec, et il peut facilement effectuer jusqu'à 150 balayages de plaquettes par heure avec sa plate-forme légère. Cela le rend adapté aux installations de fabrication de haute production. La consommation d'énergie de FPA-2500I3 est également faible, et il intègre une fonction d'économie d'énergie qui minimise la consommation d'énergie de l'outil tout en obtenant une performance optimale. Cela permet de réduire le coût d'exploitation de la machine à long terme. Dans l'ensemble, FPA 2500 i3 est un pas de plaquette avancé qui fournit une précision et une productivité supérieures pour la fabrication des IC de prochaine génération. Ses fonctionnalités avancées permettent de minimiser les coûts opérationnels et d'assurer un résultat cohérent et précis.
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