Occasion CANON FPA 2500 i3 #9229104 à vendre en France

CANON FPA 2500 i3 est un pas de plaquette de haute précision utilisé dans les processus de microfabrication. C'est un pas qui peut images plus petite et plus rapide que les systèmes traditionnels de balayage à base de faisceaux d'électrons. CANON FPA-2500I3 est capable d'expositions pré-alignées avec un alignement de précision de 200 nanomètres. L'équipement dispose d'un système d'éclairage de 0,48 NA et d'une distance de travail de 151 mm. Le champ de vision complet est de 100 mm avec un format complet de 2576 mm carré. FPA-2500 I3 est capable d'atteindre une résolution à travers l'objectif de 35mm avec ses capacités d'alignement semi-actives. Le stepper lui-même est un stepper multi-champs avec une unité d'alignement entièrement automatique. En combinant l'éclairage et la machine optique, le stepper est conçu pour fournir un alignement extrêmement précis sur l'ensemble du champ. Il a deux modes d'imagerie réfractive, l'INA (illumination de la zone normale) et l'IE (illumination de la zone étendue). Le mode NAI est utilisé pour la résolution de champ et le mode EI est utilisé pour obtenir un contraste élevé en résolution. CANON FPA 2500 I 3 stepper dispose d'un outil d'automatisation avancé ainsi que d'une grande chambre d'environnement. Cela permet une capacité à être complètement stable en poids, même après de longues périodes de fonctionnement. L'actif d'automatisation permet la précision et la répétabilité, ce qui permet à l'étape de maintenir sa précision sur plusieurs timbres. FPA 2500 i3 a une large gamme de temps d'exposition qui permettent une large gamme de contrôle de processus. Il offre également une gamme de modes de balayage, tels que l'exposition à plusieurs niveaux, l'exposition simultanée et l'exposition par étapes. Ceci permet une compatibilité avec différents matériaux de substrat. En termes de précision d'imagerie, FPA-2500I3 est capable de 60 nanomètres de précision d'enregistrement. Afin de maintenir la précision de l'image, le stepper est équipé d'une règle de deux microns, plus une correction d'autofocus basée sur la surface. Cela garantit une plus grande précision d'exposition et la stabilité de la précision d'alignement. Le stepper est également équipé d'un modèle de moniteur haute exposition. Cet équipement permet aux utilisateurs de mesurer et de surveiller les données sur le temps d'exposition ainsi que d'utiliser des trous de traitement. Ce système de surveillance permet également un contrôle de colonne personnalisable et extensible. Cela permet un meilleur contrôle de l'exécution des tâches. Dans l'ensemble, FPA 2500 I 3 est un pas de plaquette avancé conçu pour des processus de microfabrication extrêmement précis. Il dispose d'une large gamme de capacités d'automatisation et est construit pour une imagerie très précise. Il est bien équipé avec des fonctionnalités qui assurent une imagerie précise ainsi que d'étendre la capacité et le contrôle des processus.