Occasion CANON FPA 3000 EX3 #9077395 à vendre en France

CANON FPA 3000 EX3 wafer stepper est un équipement de lithographie de pointe conçu pour produire rapidement et avec précision des circuits intégrés sur des wafers. Il utilise un système d'imagerie optique haute résolution qui est couplé à un étage avancé de plaquettes pour produire une précision de niveau de matrice. L'appareil dispose d'une colonne avancée d'imagerie en tube de verre sec, d'une grande zone de travail de 12 pouces et d'un pas réglable et d'un temps de cycle de répétition. FPA 3000 EX3 a la capacité de supporter une large gamme de réticules et de tailles de plaquettes jusqu'à 180 mm. L'étape utilise un étage avancé de plaquettes qui supporte jusqu'à 200mm de plaquettes avec une précision, une répétabilité et une uniformité extrêmement élevées. L'étape comprend trois entraînements linéaires et un système d'entraînement rotatif pour un positionnement et un balayage lisses et précis. L'étage dispose de profils d'accélération et de décélération réglables qui permettent des applications d'exposition à grande vitesse. La machine d'imagerie dispose d'une technologie avancée d'auto-collimation pour la focalisation précise. Cela permet à CANON FPA 3000 EX3 de produire des images à haute résolution avec une distorsion de linéarité extrêmement faible. L'outil d'auto-collimation offre également une vitesse de focalisation et une répétabilité variables. L'outil d'imagerie est couplé à un lecteur de balayage à grande vitesse qui permet une vitesse maximale de balayage pas à pas jusqu'à 200mm/s. Le modèle comprend une capacité d'alignement automatique des réticules qui minimise le besoin de positionnement manuel des plaquettes. L'équipement d'alignement permet des expositions multiples à différents décalages d'alignement sans repositionner la plaquette sur la scène. Il dispose également d'un système de cartographie des plaquettes embarquées qui permet la mesure et la correction des chevauchements. FPA 3000 EX3 dispose d'une multitude de fonctionnalités et de capacités intelligentes qui le rendent adapté aux applications semi-conductrices. Il offre un débit élevé, une capacité multi-passe simultanée, un rendement produit élevé, une inspection intégrée des défauts et des solutions d'imagerie personnalisables. Cette unité est un choix idéal pour la production de produits semi-conducteurs avancés tels que LED, MEMS, IC RF et bien d'autres. Il offre des performances de produit final supérieures, des capacités d'ingénierie améliorées et une intégration sans faille dans l'environnement de fabrication.