Occasion CANON FPA 3000 EX4 #9359426 à vendre en France
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Vendu
ID: 9359426
Stepper, 8"
Reticle handling system, 8"
ZYGO 7701C/E Laser head
CYMER ELS-5300 Laser
Panels included
Accessories:
Lens unit
Control rack
Board and power supply
1998 vintage.
CANON FPA 3000 EX4 est un pas de plaquette haut de gamme conçu pour la lithographie de précision. Il est capable de produire des tailles de caractéristiques ultra-petites sur les plaquettes grâce à sa précision sous micromètre. Il est équipé d'un élément optique avancé à 4 chambres et de plusieurs aligneurs et dispositifs de métrologie pour un alignement rapide et un fonctionnement fin. Le dispositif est également intégré à un équipement multi-axes à grande vitesse qui permet un fonctionnement stable à long terme. Le corps principal de l'appareil est fait de matériaux durables tels que l'aluminium et le plastique renforcé pour une utilisation à long terme et une fiabilité maximale. Son grand écran tactile LCD permet aux utilisateurs de surveiller et de contrôler l'appareil avec facilité. Ce pas de plaquette est équipé d'un système de robotique qui permet la manipulation automatique de plusieurs plaquettes. CANON FPA-3000EX4 est également livré avec une unité de refroidissement intégrée pour aider à protéger les éléments optiques sensibles contre les puces chauffées. Cette machine de refroidissement comprend un ensemble de ventilateurs absorbant la chaleur, des obturateurs thermoélectriques et un ensemble de radiateurs. Il dispose également d'un outil d'interférométrie laser qui peut détecter et mesurer l'évolution des angles de surface des lentilles. Cela garantit la précision du processus de lithographie pour un meilleur alignement et l'imagerie. Le stepper a la capacité d'effectuer plusieurs étapes de traitement dans un cycle d'exposition de plaquettes. Cela comprend l'application de la résistance, l'exposition, le durcissement des plaquettes, et le pelage du motif exposé. Il dispose d'un contrôle de synchronisation par balayage de faisceau et de paramètres de temps d'exposition sélectionnables pour optimiser davantage le processus de sélection. FPA-3000 EX4 est capable de produire des composants microscopiques pour des structures régionales avancées telles que des films minces, des motifs avancés et des motifs à haute résolution sur des substrats plus petits. De plus, ce pas de plaquette offre des performances dynamiques, un débit plus élevé, une plus grande précision et des avantages de réduction des coûts pour les applications liées à la recherche et à la production d'appareils.
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