Occasion CANON FPA 3000 i4 #293604649 à vendre en France
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ID: 293604649
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1995
i-Line stepper, 6"
Absolute distortion NA 63 sigma 65:
DX: ≤0.050 µm
DY: ≤0.050 µm
Focus range: <0.25 µm
Mag range: <2 ppm
Resolution:
L/S: 0.35 µm
Depth of focus:
0.35µm L/S and 0.5µm ISO: ≥0.8 µm
Image field deviation:
0.35µm L/S and 0.5µm ISO: ≤0.5
Missing lots parts
1995 vintage.
CANON FPA 3000 i4 est un pas de plaquette, un type d'équipement de photolithographie utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Ce stepper utilise un système syncroscan puissant et une source lumineuse à 4 faisceaux unique, offrant des performances d'imagerie supérieures pour la production de masse. Cette unité dispose d'un débit élevé, d'une excellente précision de recouvrement et de nombreuses autres fonctionnalités avancées. CANON FPA-3000I4 stepper est équipé d'une lentille de projection à 4 faisceaux et d'un scanner synchrone à miroir de balayage. La machine est alimentée par un objectif de 0,5 NA et offre une uniformité supérieure, de petites tailles de points, et un rapport de contraste élevé. Cela permet d'imprimer de petites formes difficiles à réaliser avec des systèmes monoplaces. Il utilise des optiques et des algorithmes avancés, qui permettent des vitesses de balayage et d'imagerie plus rapides. L'outil dispose également d'un étage X-Y de haute précision pour un positionnement et une traçabilité précis. L'étage est supporté par des algorithmes de contrôle robustes et assure des mouvements rapides et précis. Il est capable de se déplacer jusqu'à 3000 nm/s. En outre, il a une résolution de 0.02nm, permettant de plus petites tailles de fonctionnalités et plus de précision que jamais. FPA 3000I4 utilise également la technologie d'alignement de micro-bosses, permettant un positionnement du substrat en douceur et une optimisation rapide de l'alignement. L'actif peut être configuré pour accueillir des plaquettes jusqu'à 8 pouces de taille et a la capacité de gérer jusqu'à 16 plaquettes par heure. Le modèle est accompagné d'un logiciel qui fournit une interface utilisateur intuitive avec des contrôles intuitifs de l'espace de travail. Dans l'ensemble, FPA 3000 I 4 est un pas de plaquette très avancé conçu avec une production de masse en tête. Il offre d'excellentes performances et débits d'imagerie, associés à un alignement et une traçabilité précis. Cet équipement est idéal pour les installations de production à la recherche d'une solution lithographique fiable et efficace.
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