Occasion CANON FPA 3000 i4 #293605760 à vendre en France

CANON FPA 3000 i4 est un scanner lithographique EUV (Extreme Ultra-Violet) haut de gamme utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. C'est un pas de plaquette fiable et avancé conçu pour fournir des procédés de lithographie de haute précision. Le i4 a une structure à deux colonnes et se compose d'une plate-forme de balayage à deux étages et d'un système de manutention des plaquettes hautement intégré. Il utilise également la technologie CANON 'Roll-Scanner'. Cela signifie que les données d'image sont enregistrées électroniquement après avoir été exposées à la surface de la plaquette, de sorte qu'elles peuvent être transférées et enregistrées rapidement et avec précision. CANON FPA-3000I4 wafer stepper dispose d'une source laser avec une longueur d'onde de 13,5 nm qui permet une plus grande précision et un placement très précis des motifs sur la plaquette. Le i4 intègre également un taux de répétition élevé allant jusqu'à 12kHz, permettant de grandes expositions en une seule prise de vue. La i4 offre des débits élevés, offrant des gains de productivité allant jusqu'à 400wpm (plaquettes par minute). Cela est rendu possible par le taux élevé de répétition et le transfert rapide des données, ainsi que par le temps de préparation court entre les cycles de travail. Le pas de plaquette possède également un excellent système de balayage par résonance qui minimise la distorsion du motif causée par l'accélération et les vibrations. Cela permet une grande précision dans la formation des motifs de l'appareil. Enfin, il utilise une faible dérive thermique et un système de lentille stable indépendant pour aider à prévenir l'aberration et la distorsion. Ceci assure une exposition précise des motifs sur la plaquette, améliorant ainsi le rendement et les coûts-performances des dispositifs semi-conducteurs. En résumé, FPA 3000I4 wafer stepper est une machine de lithographie avancée et fiable adaptée à la fabrication de dispositifs semi-conducteurs haut de gamme.