Occasion CANON FPA 3000 i4 #9121238 à vendre en France
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Vendu
ID: 9121238
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
i-Line stepper, 8"
Reticle: 6"
I/F: Mark-8
1995 vintage.
CANON FPA 3000 i4 est un pas de plaquette des capacités de précision et de taille les plus élevées sur le marché. Cet équipement entièrement automatisé est une étape de lithographie photonique équipée de technologies originales CANON, telles qu'un dispositif avancé d'intégration à grande échelle (A-LSI) et ses mécanismes de balayage propriétaires, pour fournir une haute performance et fiabilité dans son domaine. Le système est composé d'une unité principale, d'une tête optique et d'un générateur de motifs. L'unité principale est un cadre robuste qui assure la stabilité et la précision. Il est également équipé d'un mécanisme d'alimentation de précision, pour garantir le bon mouvement de la tête optique en trois dimensions, d'une unité de métrologie de haute précision pour une meilleure précision de positionnement, et d'un moteur cylindrique pour un balayage rapide, efficace et précis. La tête optique est composée d'une machine à lentille corrigée par aberration de premier ordre, offrant une qualité d'image et une résolution supérieures de 4 nm sur des diamètres de plaquettes allant jusqu'à 25 mm. Une chambre d'environnement avec des fonctions de chauffage fait également partie de la tête optique pour assurer les meilleures conditions de travail et un processus stable. Le générateur de motifs est un composant optique de projection utilisé pour transférer le motif de circuit sur la plaquette. Il est équipé d'une puce double pixel pour atteindre une vitesse de processus rapide et des capacités de séquençage, permettant à l'outil de travailler avec divers modèles de circuits et expositions. CANON FPA-3000I4 est capable de fournir des longueurs de ligne de 4nm à des résolutions allant jusqu'à 2,5 μ m, ce qui le rend idéal pour tous les niveaux de production de semi-conducteurs, y compris les emballages avancés. Sa technologie pas à pas est également applicable à la fabrication de composants plus importants dans diverses industries telles que l'imprimerie et l'électronique. En combinaison avec un environnement entièrement automatisé et un fonctionnement numérique, cet atout garantit le plus haut niveau de précision et de fiabilité pour un large éventail d'applications.
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