Occasion CANON FPA 3000 i4 #9224170 à vendre en France

CANON FPA 3000 i4 est un équipement de nouvelle génération conçu pour offrir des capacités de lithographie avancées pour les exigences d'application les plus exigeantes. C'est le seul outil de ce type capable d'atteindre des résolutions dans la gamme 0,2 μ m, tout en conservant un débit et une productivité élevés. Le système est équipé de capacités d'éclairage et de focalisation avancées, ainsi que d'alignement automatisé et de reconnaissance des motifs. L'étape i4 se compose d'une unité principale, d'un robot de manutention du réticule et d'une unité d'entraînement optique. L'unité principale contient le cœur du processus de lithographie, qui comprend l'étage de la plaquette, le moteur de la plaquette, l'unité d'éclairage, la lentille de projection et le photomasque. L'étage de plaquette assure la manutention automatisée de la plaquette pendant la lithographie et peut contrôler le basculement, le chargement et le déchargement, le positionnement et l'alignement de la plaquette. Le moteur de la plaquette est utilisé pour entraîner l'étage de la plaquette sur le champ de vision et fournit un mouvement précis, robuste et répétable pour la lithographie de haute précision. L'unité d'éclairage est constituée d'une source lumineuse et d'une optique d'imagerie. La source lumineuse est constituée d'une machine laser à ultraviolet ou à fluorure d'Argon de grande puissance et d'un outil optique formant faisceau qui fournit un éclairage homogène et corrige les aberrations focales et d'intensité. L'actif optique d'imagerie est constitué d'un objectif 1X mobile, de lentilles de condensation et d'imagerie du faisceau, et d'une unité de mise en forme de faisceaux multi-ouvertures et astigmatiques. La lentille de projection est constituée d'un ensemble de deux jeux de lentilles. Le premier ensemble de lentilles est utilisé pour focaliser le faisceau d'imagerie sur le réticule, tandis que le second ensemble est utilisé pour agrandir le motif sur la plaquette. L'objectif est motorisé et peut être utilisé pour faire varier la focalisation et le grossissement du motif sur différentes zones de la plaquette. Le photomasque est un substrat en quartz revêtu d'un motif de couches opaques et transparentes qui définissent le motif à imprimer sur la plaquette. Le robot de manutention du réticule et le modèle d'entraînement optique sont responsables du transfert du photomasque de l'étage du réticule à l'équipement d'entraînement de l'optique, qui déplace ensuite le masque sur la lentille de projection pour la lithographie. Le système dispose également d'une unité automatisée d'alignement et de reconnaissance de motifs, qui aligne avec précision le motif sur le réticule pour chaque exposition avant impression. CANON FPA-3000I4 est conçu pour offrir un débit et une productivité élevés avec une résolution de 0,2 μ m. La machine automatisée d'alignement et de reconnaissance des motifs la rend idéale pour la lithographie haute résolution, tandis que les capacités avancées d'éclairage et de focalisation assurent des résultats cohérents. L'outil est très fiable et fournit des résultats de lithographie répétables, ce qui en fait un excellent choix pour les applications les plus exigeantes.