Occasion CANON FPA 3000 i4 #9238727 à vendre en France
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CANON FPA 3000 i4 est un aligneur de projection multi-étages très avancé conçu pour la fabrication de semi-conducteurs avancés. CANON FPA-3000I4 utilise la dernière technologie disponible pour créer des résolutions précises et l'alignement des composants de 20-200 nanomètres. Sa projection avancée Optics Equipment permet des résolutions non corrigées de 2 nanomètres, permettant de placer et d'aligner avec une grande précision des composants à semi-conducteurs de petite taille. Il est entièrement intégré à un système de métrologie temps réel (RTSM) embarqué qui permet l'alignement et l'enregistrement actifs en 3D des composants. La FPA 3000I4 est extrêmement efficace sur le plan énergétique. Il dispose d'une unité de refroidissement silencieuse à faible bruit et d'une variété de systèmes d'éclairage innovants ; la machine d'éclairage à quatre faisceaux (IFIS) dotée de sources lumineuses à haute efficacité halogène, Ar + halogénure métallique et i-line. Cela garantit une exposition précise et uniforme des composants sur une large gamme de tailles et de matériaux de plaquettes. Le mécanisme robuste et précis permet un mouvement rapide et précis dans toutes les directions offrant un niveau de précision et de répétabilité inégalé. La tête de projection intègre un outil de compensation d'étage très précis qui, combiné à la RTSM avancée et à une optique très précise, permet de placer avec précision les pièces jusqu'à 20 nanomètres. FPA-3000 I 4 abrite également un environnement de développement d'applications entièrement automatisé dans lequel les utilisateurs peuvent développer des routines logicielles personnalisées pour faciliter l'avancement et le développement de processus semi-conducteurs de plus en plus efficaces. Enfin, CANON FPA 3000I4 fournit également un soutien opérationnel important, y compris des capacités de traçabilité des actifs et des composants facilement interchangeables pour une maintenance et une mise à niveau simplifiées. L'APF assure en outre un fonctionnement sûr et sécurisé et facilite la formation des utilisateurs, permettant une entrée plus rapide dans les opérations de lithographie complexes.
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