Occasion CANON FPA 3000 i4 #9238745 à vendre en France

CANON FPA 3000 i4
Fabricant
CANON
Modèle
FPA 3000 i4
ID: 9238745
Stepper.
CANON FPA 3000 i4 Wafer Stepper est un outil d'imagerie semi-conducteur idéal pour les applications de photolithographie de niveau wafer. Cet équipement dispose de 4 optiques de projection très sensibles, optimisées pour offrir une résolution supérieure et des vitesses de processus à grande vitesse avec une distorsion minimale. CANON FPA-3000I4 est particulièrement adapté pour les applications de lithographie sans masque avec sa technologie de transfert de couche parfaite, qui assure une précision de fonctionnement au niveau de la plaquette avec des effets de dosage de bord minimaux. Pour garantir une qualité d'image supérieure, FPA 3000I4 utilise un système optique numérique d'ouverture de 40nm, un alignement et un réglage automatisés à l'aide d'un outil de mesure automatisé et un revêtement chimique efficace pour la protection des substrats anti-cicatrice et anti-rayures. De plus, cette unité intègre des méthodes d'éclairage avancées, telles que l'éclairage d'uniformité complète, pour minimiser la variation du motif projeté. Les capacités intégrées de contrôle des processus, de stabilité des mouvements et de surveillance des processus de l'outil permettent de maximiser le rendement et de réduire les coûts, tandis que sa configuration processus-machine pré-approuvée élimine la variabilité des processus. D'autres boosters de performance intégrés dans CANON FPA-3000 I4 sont son contrôle de température avancé pour la surface de l'étage et sa technologie de contour, qui améliore les résultats des processus en compensant les surfaces non planes. Les caractéristiques simplifiées et supérieures de l'outil font de CANON FPA-3000 I 4 un atout précieux dans la chaîne de production de semi-conducteurs, assurant des débits élevés et des résultats de lithographie supérieurs. Grâce à cet atout, les fabricants peuvent maintenant obtenir un retrait bas de gamme, une excellente uniformité CD, un marquage haute résolution des lignes et un alignement de superposition précis, le tout avec un écart de surface posologique minimal. En outre, cet outil est conçu pour faciliter les expansions et les mises à niveau des modèles, faisant du FPA-3000 I 4 un investissement idéal pour les industries à la recherche d'une solution de lithographie fiable, rentable et productive.
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