Occasion CANON FPA 3000 i4+ #9256525 à vendre en France

CANON FPA 3000 i4 + est un pas de plaquette à haut volume de pointe conçu pour répondre aux besoins rigoureux de l'industrie avancée de la fabrication de semi-conducteurs. Il se compose d'un équipement optique ultra-précis pour la fixation de photomasques sur des plaquettes, ainsi que d'un système d'alignement automatique multi-zones pour assurer la précision et la répétabilité sur les lots de production. L'unité fournit jusqu'à 175W de puissance d'éclairage, adapté à l'imagerie haute résolution sophistiquée des motifs même les plus complexes. Il comporte deux étages d'alignement optique, chacun constitué de trois axes permettant des enregistrements dimensionnels précis du photomasque et de la plaquette. Deux caméras haute résolution sont incluses avec une résolution de balayage de niveau micron. La machine à gradins dispose de systèmes de métrologie ultra précis et hautement reproductibles, qui comprennent le balayage automatisé et la comparaison de la plaquette et du masque pendant l'exposition. FPA 3000 i4 + est capable de sous-100nm résolution d'imagerie, avec une meilleure résolution de 80nm. Il utilise un algorithme d'exposition multi-zones avancé pour assurer un rendement élevé, qui est encore amélioré grâce à la superposition de masquage intégrée. L'outil optique inclus offre une grande précision et répétabilité avec aberration chromatique minimisée et aberrations. Il intègre un actif d'alimentation automatisé des plaquettes pour la manutention à haut débit et supérieure des plaquettes. Le stepper dispose également d'un nouveau modèle de mouvement vertical maximal qui permet des mouvements allant jusqu'à 20mm, permettant de modeler en 3D sur des géométries de plaquettes complexes. Ce stepper avancé dispose également d'un équipement heuristique avancé pour l'échelle réductible, ce qui permet d'atteindre des niveaux de défauts par million de pièces. Il dispose d'une interface utilisateur intuitive, capable d'un contrôle personnalisé, ainsi que d'une option d'accès à distance pour le dépannage et la surveillance. CANON FPA 3000 i4 + est conçu pour l'évolutivité et offre une évolutivité adaptée à l'évolution des techniques et des besoins de fabrication. Il est compatible avec une large gamme de substrats et peut manipuler des plaquettes de 200mm à 450mm de diamètre. C'est une solution très efficace et fiable pour les demandes de traitement de plaquettes exigeantes.