Occasion CANON FPA 3000 i4 #9361809 à vendre en France
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CANON FPA 3000 i4 wafer stepper est un équipement de lithographie haute résolution et haute vitesse utilisé dans la production de semi-conducteurs de précision. Il est conçu pour manipuler des plaquettes semi-conductrices 4 pouces et plus grandes et a une résolution maximale de 0,25 µm. Il est également capable d'exposer efficacement des réticules de grande surface à grande vitesse, ce qui le rend idéal pour une production à haut volume. Le système est basé sur une étape de pré-alignement qui utilise un pas de balayage pour déplacer avec précision la plaquette. Il peut être configuré avec un choix de deux lentilles : une lentille de 0,6 NA ou une lentille de 0,7 NA. Cela offre une résolution et une qualité d'image plus élevées, permettant aux fabricants de masques de rester compétitifs dans leurs domaines respectifs. CANON FPA-3000I4 dispose également d'une unité de focalisation automatique pour un alignement précis et répétable. Cette fonctionnalité garantit que chaque masque est correctement aligné et que le processus d'exposition est toujours précis. La machine auto-focus permet également de réduire les temps d'arrêt, car elle installe rapidement et efficacement chaque masque avant exposition. Le stepper comprend également un outil d'imagerie avancé pour améliorer le contraste et le débit élevé. Cet atout comprend un processeur d'image numérique avancé qui aide à maximiser le débit en corrigeant le vignettage et le flou et en diminuant les frais généraux associés à la correction des aberrations des lentilles. Il dispose également d'algorithmes avancés de réduction du bruit pour réduire le bruit d'image résiduel. La FPA 3000I4 s'intègre également dans une variété de processus de fond, tels que le nettoyage automatique et la cuisson après exposition. Le stepper dispose de deux rotateurs de plaquettes à couple élevé qui font tourner automatiquement les plaquettes et assurent un nettoyage précis et reproductible. Le modèle dispose également d'une station de cuisson post-exposition qui permet un contrôle précis de la température et de l'humidité et garantit que les tailles des caractéristiques restent cohérentes sur plusieurs parcours. Enfin, le stepper comprend un équipement avancé de collecte et d'analyse de données qui peut stocker et analyser les résultats de jusqu'à 25 000 wafers. Cela permet au système de suivre les tendances de la production, de détecter les anomalies ou les défauts en temps opportun, et d'optimiser les paramètres de processus et les recettes pour améliorer le rendement. Dans l'ensemble, CANON FPA-3000 I 4 est un pas de plaquette fiable et productif conçu pour répondre aux exigences les plus exigeantes en matière de lithographie et de production électronique. Il est capable de produire des tailles de fonctionnalités qui vont bien en dessous de 0,25 µm, ce qui en fait un excellent choix pour l'imagerie haute résolution et la production à haut volume.
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