Occasion CANON FPA 3000 i4 #9384534 à vendre en France

Fabricant
CANON
Modèle
FPA 3000 i4
ID: 9384534
Style Vintage: 2000
i-Line stepper Reticle, 6" EWS: 715/100 X-Terminal console A/F Type-6: Right W/F Size: 8" PA Type: Flat Library 12-Slot Option: PPC Cassette type: NIKON Mount: Passive damper BB Halogen lamp Illuminatior: 2 kW RASCO TBW-CD-83 Clean chamber Lens edge distortion: U Lens MO Drive With CF Type PCB and P/S Missing Wafer stage: Type: Air bearing ZYGO Laser interfermeter Chuck type: Pin Image rack: Part number / Description BG4-6632 / TV Image CPU BG4-9715 / ADP PCB BG9-4084 / ACC1 PCB BG9-4085 / ACC2 PCB BG4-9716 / IMP2 PCB BG4-6582 / HRD Processor PCB VME Rack: Part number / Description BG4-6628 / Cam unit BG4-6626 / Main CPU PCB BG4-8817 / M-RGEN BG4-6631 / CD I/F PCB BG4-6629 / X, Y Stage CPU PCB BG4-8818 / S-RGEN BG4-6456 / Stage DSP BG4-6465 / Measurement PCB (X) BG4-6466 / Measurement PCB (Y) BG4-6467 / Measurement PCB (Θ) BG4-6457 / X, Y Pre PCB BG4-6459 / OFCD IF PCB BG4-6460 / PIEZO Analog PCB BG4-5459 / PIEZO Drive PCB BG4-6603 / CCD OPTF CAP2 PCB 2000 vintage.
CANON FPA 3000 i4 est un pas de plaquette avancé et efficace qui utilise un équipement optique de projection ultraviolet et des technologies de lithographie modernes pour modeler avec précision les photomasques sur les plaquettes. Ce dispositif avancé offre un certain nombre de caractéristiques pour minimiser les défauts, maximiser le débit du processus et fournir un débit rapide, ce qui peut réduire le temps de traitement total et par conséquent améliorer le rendement du dispositif. Le stepper utilise la combinaison d'éléments d'objectif avec un scanner avancé pour obtenir le plus haut niveau de précision possible. Les éléments de lentille donnent au dispositif une ouverture numérique jusqu'à 0,72 et offrent un rapport de démagnification de 1 à 4. Le stepper est également capable de traiter les types de résistance au contraste positif et négatif, ainsi que d'obtenir des recouvrements de motifs à des intensités de lumière élevées et faibles. Le dispositif dispose d'un système optique amélioré qui fournit de petites caractéristiques, telles que des bords d'extrémité de ligne, et une grande polarisation, aplatissement et uniformité sur le champ d'imagerie. De plus, il présente une incidence de semi-pâturage qui améliore l'utilisation lumineuse des lentilles et réduit considérablement le chevauchement des photomasques. Cela rend le dispositif adapté à une large gamme de photomasques et des motifs encore plus compliqués. CANON FPA-3000I4 est équipé de systèmes d'alignement de motifs qui lui permettent de traiter avec précision les images de trame et de terrain. Deux systèmes d'alignement de motifs sont utilisés pour l'imagerie de trame et de terrain, respectivement. L'unité d'alignement du cadre est capable d'aligner l'ensemble du cadre en comparant trois points, et la machine d'alignement du champ peut identifier des caractéristiques plus petites par rapport à l'outil d'alignement du cadre. Le dispositif offre également une gamme d'options pour le balayage des réticules, la déviation et la focalisation, y compris les optiques à balayage rectangulaire à haut rendement, les optiques à déflecteur haute performance et les optiques autofocus de haute précision. Ensemble, ces caractéristiques permettent au dispositif de traiter une variété de motifs avec une grande marge de tolérance et des niveaux élevés de précision. FPA 3000I4 offre également un processus de lithographie robuste, ce qui est une caractéristique importante car la lithographie est le cœur du dispositif. Les lampes climatisées utilisées dans l'appareil créent une lumière UV profonde pour créer des motifs sur les photomasques, ce qui contribue à réduire le risque de défauts. En outre, les lampes peuvent également être remplacées efficacement sans nécessiter l'alignement ou le réglage d'autres optiques. Dans l'ensemble, FPA-3000 I 4 est un pas de plaquette avancé qui offre une gamme de fonctionnalités pour améliorer l'efficacité du processus, moins de temps d'arrêt et de débit plus rapide. Il utilise une gamme de technologies de lithographie et d'alignement de motifs pour créer des modèles de haute précision, et possède un certain nombre de fonctionnalités qui aident à réduire le risque de défauts et à augmenter le rendement du dispositif.
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