Occasion CANON FPA 3000 i4 #9402495 à vendre en France

CANON FPA 3000 i4
Fabricant
CANON
Modèle
FPA 3000 i4
ID: 9402495
Stepper i-Line stepper With lends data Wave length: 0.35 µm.
CANON FPA 3000 i4 est un appareil pas à pas 5 axes conçu pour des applications avancées de lithographie dans la fabrication et la recherche de semi-conducteurs. Il dispose d'un mécanisme d'accélération/décélération linéaire unique et d'un équipement de mouvement 9 axes pour la correction de champ 3D, ce qui le rend capable de fournir la plus haute résolution dans les applications de lithographie optique. Le circuit de formage d'image intégré et le système optique intégré assurent un alignement précis de l'étage de plaquette, ce qui augmente le débit et la fiabilité. L'unité d'alignement automatisé de CANON FPA-3000I4 utilise deux ensembles de capteurs d'auto-alignement pour obtenir un alignement rapide et précis entre l'étage de masque et de plaquette. Cette machine utilise des déflecteurs laser et une interface de signal laser pour un bon positionnement des lentilles et un alignement des faisceaux. En outre, cet outil est capable de gérer une grande variété de types de plaquettes, fournissant un savoir-faire pour la programmation par étapes et une meilleure performance des plaquettes ; les deux peuvent être utilisés pour la fabrication de plaquettes à motifs. En outre, FPA 3000I4 dispose d'un scanner de réduction 5x qui permet une imagerie plus précise et plus haute résolution. Sa conception compacte minimise l'espace de fonctionnement et réduit les vibrations, augmentant la précision. De plus, FPA-3000 I4 est capable de capturer et d'enregistrer des motifs jusqu'à 20 fois plus rapidement que les steppers traditionnels d'écriture de masque. Il offre également les meilleures opérations de lithographie telles que l'exposition, l'affichage et l'optimisation des motifs. L'actif de refroidissement avancé de CANON FPA 3000I4 assure une bonne gestion thermique, fournissant un environnement d'exploitation stable. Ce modèle dispose également de capacités de surveillance avancées, telles que des systèmes dynamiques de correction de température qui détectent, mesurent et ajustent la température en fonction de l'état de la plaquette. En tirant parti de ses conseils d'exposition adaptatifs, les utilisateurs peuvent obtenir le rendement le plus élevé, même dans les applications de lithographie difficiles. Le FPA 3000 I 4 est également conforme à plusieurs normes de l'industrie, telles que SEMI E-170 et SEMI E-182, et supporte l'acceptation/rejet du tri. CANON FPA 3000 I 4 est un équipement idéal pour la fabrication de semi-conducteurs et la recherche, car il fournit aux utilisateurs une plate-forme avancée pour la fabrication de plaquettes à motifs. Il offre précision, sensibilité, vitesse et efficacité pour les applications de masque fixe, de production à haut volume et de lithographie LED. Avec ses commandes intuitives et ses ensembles de fonctionnalités les plus performants, ce pas de plaquette fournit aux utilisateurs tout l'équipement dont ils ont besoin pour faire progresser leurs besoins de production de semi-conducteurs.
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