Occasion CANON FPA 3000 i5 #293615952 à vendre en France
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ID: 293615952
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
i-Line stepper, 8"
1997 vintage.
CANON FPA 3000 i5 est un pas de plaquette plein champ avec des performances optiques haut de gamme pour le traitement avancé des plaquettes à travers plusieurs technologies. Il est conçu pour fournir des capacités de fixation et d'inspection des plaquettes de haute précision, offrant un rendement allant jusqu'à 200 plaquettes par heure. CANON FPA 3000I5 dispose d'une tête de pas de 5 mégapixels avec un pas de 1 à 1 pixel et une résolution de 95 nm, lui permettant d'obtenir un placement et un alignement d'image extrêmement précis. Il est équipé de deux moteurs pas à pas à grande vitesse, reconfigurables dynamiquement, assurant un positionnement et un alignement rapides et précis des plaquettes. Le FPA utilise un système optique rapide à haut débit composé de cinq lentilles et d'un réseau de miroirs motorisés à 6 positions, offrant une imagerie haute résolution sur une large gamme de tailles de motifs et de spécifications de résolution de simulation. Il peut traiter une gamme de matériaux allant du GaAs, Si et SOI au quartz et aux matériaux photovoltaïques organiques avancés. FPA-3000 I5 est équipé d'un capteur intégré au niveau de la plaquette pour l'alignement des bords de la plaquette et la détection de proximité de faible puissance. Il est également équipé d'un mécanisme intégré de capture d'image en champ sombre pour la détection avancée des plaquettes, permettant l'inspection de la surface des plaquettes noyées dans l'opération de découpage pas à pas. En outre, l'amplificateur peut supporter jusqu'à quatre courbes PI pour l'enregistrement simulé de la cible, permettant l'alignement automatisé des fonctionnalités. CANON FPA-3000 I5 est conçu avec un environnement de salle blanche de classe 1000 pour assurer la plus grande fiabilité et la plus grande stabilité de fonctionnement. Une chambre sèche sous-ambiante en option est disponible pour améliorer encore la planéité des plaquettes et réduire la contamination par les particules. Le stepper est livré avec une interface utilisateur intuitive, permettant de nombreuses opérations de plaquette d'être facilement réglé et ajusté avec une intervention minimale de l'utilisateur. FPA 3000I5 est un pas de plaquette efficace et fiable qui fournit une précision et une précision élevées avec un débit rapide. Que votre objectif soit d'améliorer le rendement et les performances de votre procédé de fabrication d'appareils ou de développer les matériaux optoélectroniques les plus avancés, FPA 3000 i5 est un système idéal pour vos besoins.
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