Occasion CANON FPA 3000 i5 #293615953 à vendre en France

CANON FPA 3000 i5
Fabricant
CANON
Modèle
FPA 3000 i5
ID: 293615953
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
i-Line stepper, 8" 1997 vintage.
CANON FPA 3000 i5 est un pas de tranche qui est conçu pour fournir des performances supérieures pour les applications avancées de semi-conducteurs. Il utilise les dernières innovations dans les technologies d'optique, de lithographie et de contrôle de mouvement afin de produire des caractéristiques plus petites et plus précises que les méthodes traditionnelles de lithographie optique. CANON FPA 3000I5 dispose d'un étage pas à pas aligné de précision qui est entraîné par des moteurs à bobines vocales haute performance et des codeurs linéaires de précision tungstène. Cela permet un positionnement très précis des substrats et des lentilles avec une répétabilité exceptionnelle. Le stepper est capable de manipuler une large gamme de substrats et de tailles de lentilles. Avec FPA-3000 I5, les utilisateurs ont la possibilité d'ajuster leur configuration de microlithographie avec un choix d'assemblages optionnels de lentilles, étage d'élévation de hauteur réglable, et des lentilles supplémentaires pour accueillir de grandes tailles de champ jusqu'à 800 mm de diamètre. Le stepper dispose également d'un équipement d'alignement haute résolution, qui permet à l'utilisateur d'aligner avec précision les lentilles et les substrats avant le fonctionnement du système. Cette unité peut également vérifier la précision d'alignement à chaque étape du processus de lithographie. Le stepper offre une large gamme de systèmes d'éclairage, y compris des lampes à arc conventionnelles et des lasers à excimère i-line avancés et KrF ArF. Cela permet aux utilisateurs de bénéficier d'un débit plus élevé, d'une meilleure résolution d'imagerie et de processus de production améliorés. CANON FPA-3000 I5 est équipé d'une variété d'outils de manutention de plaquettes, tels qu'un chargeur de cassettes de plaquettes et une machine robotique de manutention de substrat. Il dispose également de fonctions avancées de maintenance automatique intégrée, comme l'auto-nettoyage. Le stepper offre une suite logicielle de lithographie avancée, avec des outils logiciels pour le contrôleur, l'alignement des motifs, la vérification de la mise en page, l'inspection microscopique, l'optimisation des processus, ainsi que le contrôle des mouvements. L'interface conviviale permet un accès facile à ces fonctionnalités et fonctions. En outre, FPA 3000 i5 permet aux utilisateurs d'accéder à une variété de fonctionnalités uniques, telles que l'identification et la qualification automatiques des plaquettes, l'enregistrement et l'analyse des données, et le contrôle de la température. L'outil fournit une gamme complète de rapports et de données statistiques pour assurer un rendement optimal. FPA 3000I5 est un pas de plaquette robuste et fiable qui est conçu pour surpasser les technologies concurrentes dans l'industrie des semi-conducteurs. Avec sa technologie et ses capacités de pointe, l'actif offre des performances supérieures et des débits plus élevés que les technologies traditionnelles de lithographie optique.
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