Occasion CANON FPA 3000 i5+ #293625346 à vendre en France
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ID: 293625346
Style Vintage: 2001
Stepper, 8"
Wafer type: Notch
Option: Pericle particle checker
Chamber
Projection optics
Illumination system
Reticle alignment
Wafer alignment
XY Stage
Auto-focus
Wafer leveling
Mechanical pre-alignment
TV Pre-alignment
Wafer feeder
Article feeder
2001 vintage.
CANON FPA 3000 i5 + est un pas de plaquette de pointe pour des applications de fabrication et d'imagerie de semi-conducteurs. Basé sur une nouvelle plate-forme technologique à haut taux d'acceptation (HAR), il améliore les marches traditionnelles en termes de débit, de taille de terrain, de coût et de flexibilité de l'utilisateur. Le stepper dispose d'une structure de portique à deux colonnes qui réduit les vibrations et la taille de l'empreinte. Il permet une précision de diagramme allant jusqu'à 1,1 nanomètre et assure l'alignement précis d'une plaquette dans la gamme 100 mm-500 mm pour un éclairage uniforme et un rendement élevé des plaquettes traitées. Le système intègre également un mécanisme de correction de carte à double couche, qui corrige les distorsions des masques alternatifs de déphasage (PSM) et des taches de masques binaires. Ceci réduit l'erreur de recouvrement et minimise le coût de production des dispositifs complexes. L'amplificateur a un débit allant jusqu'à 65 plaquettes par heure en mode balayage, et jusqu'à 85 plaquettes par heure en mode balayage + file d'attente avec son processeur quad-core i5 + et son logiciel Image Logic Control Suite. Sa conception optomécanique donne une correction de focalisation de haute précision allant jusqu'à 0,2 nm, conduisant à une finition de surface de haute qualité. CANON FPA 3000I5 + propose également une série de fonctionnalités avancées, telles que le chargement et le nettoyage améliorés, des fonctionnalités optiques pour l'imagerie supérieure et des caractéristiques de sécurité pour la commodité et la protection de l'opérateur. Son espace de travail climatisé et sa gestion avancée de l'air, ainsi que ses caractéristiques technologiques améliorées, permettent une exploitation à faible coût et à faible bruit. En outre, il intègre une gamme d'options de connectivité, telles que l'acquisition d'images à distance, le support OPC et MES, et la surveillance du système. Cela offre une intégration directe aux lignes et systèmes fab existants, rendant le système plus efficace et assurant des économies. En conclusion, FPA-3000 I5 + est un pas de plaquette avancé avec des capacités puissantes et un design compact. Il offre un débit, une précision et un rendement élevés grâce à sa dernière technologie HAR, ainsi que des options flexibles et une connectivité permettant une intégration homogène dans les systèmes existants. Grâce à ses fonctionnalités avancées, ce stepper est un outil fiable pour la fabrication et l'imagerie de semi-conducteurs de haute qualité.
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