Occasion CANON FPA 3000 i5+ #293827690 à vendre en France
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CANON FPA 3000 i5 + est un pas de plaquette avancé utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et de circuits intégrés. Cet équipement offre une gamme de caractéristiques et d'avantages qui comprennent : un système d'alignement haute résolution qui assure un alignement précis et répétable de chaque matrice lithographique exposée ; une fonction auto-focus qui maintient constamment la planéité de l'échantillon et fournit une focalisation plus précise sans ajustement de l'utilisateur ; une étape supplémentaire de rotation sur 2 axes permet un contrôle plus fin de la dose d'exposition et de l'uniformité des doses ; et un laser de grande puissance à 8 longueurs d'onde qui supporte des applications à haut débit. CANON FPA 3000I5 + peut également bénéficier d'un échantillonnage très rapide et de vitesses pas à pas et répétitions, avec une gigue de contrôleur maximale de seulement 10 picosecondes. Avec une variation de température réduite à l'intérieur de l'appareil, FPA-3000 I5 + est capable de maintenir la dose d'exposition constante et uniforme sur plusieurs plaquettes. Il offre une meilleure fiabilité du procédé avec une prévention du désalignement de la filière due à la déformation de l'échantillon. L'unité d'exposition ultra-précise permet également une meilleure cohérence et une productivité accrue. FPA 3000 i5 + dispose également d'une étape XY optionnelle pour des capacités de contrôle de processus supplémentaires. Cet étage XY est fait d'un type de roulement scellé haute performance, offrant un positionnement et une stabilité précis. Il peut également soutenir l'utilisation de dispositifs de contrôle de spin-master, permettant des techniques de contrôle de processus plus avancées telles que l'évaluation de l'écart des motifs photorésistants, l'alignement de précision amélioré et les tests de dose d'exposition. CANON FPA-3000 I5 + a également une conception de palette mobile intégrée qui permet des changements de tâches rapides et le chargement des plaquettes. Il saisit toutes les informations nécessaires pour chaque lot, comme les paramètres d'exposition, les résultats et les recettes avant exposition. Avec un panneau tactile à double affichage, l'opérateur peut surveiller simultanément l'état du processus, l'exposition actuelle et les paramètres de la recette. En conclusion, CANON FPA 3000 I5 + + est un pas de plaquette haute performance construit pour le contrôle de processus d'ultra-précision. Avec sa machine d'alignement haute résolution, son laser auto-focus et son laser à 8 longueurs d'onde, le 3000 i5 + est capable d'expositions précises et de résultats reproductibles dans des applications à haut débit. En intégrant un étage XY et une conception intuitive de l'outil, il assure une production fiable et précise des dispositifs semi-conducteurs et des circuits intégrés.
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