Occasion CANON FPA 3000 i5+ #293829393 à vendre en France

CANON FPA 3000 i5 + est un pas de photolithographie de champ compact à plusieurs étages avec une résolution allant jusqu'à 0,2 μ m. Il a été conçu pour le transfert de motifs de haute précision vers de nombreux substrats de plaquettes, allant de 5 à 200 millimètres de diamètre. Le stepper utilise une série de miroirs, de lentilles et de filtres pour produire des motifs sur la plaquette en utilisant la lumière UV. Le dispositif est basé sur une conception en cinq étapes, avec une étape principale et quatre indépendantes. Chaque étage est équipé d'un miroir statique et dynamique, configuré pour la commande XY motorisée. L'équipement est capable d'aligner et d'exposer plusieurs plaquettes de façon précise et répétable en une seule fois avec un temps d'arrêt minimal. Il offre également un système d'étalonnage motorisé intégré pour des temps d'exposition constants et précis. Le stepper peut être équipé d'une gamme de lentilles, y compris CANON FPA-3003 I-5 +, une lentille asphérique à haute résolution avec 0,2 μ m de résolution. L'unité peut également être configurée avec un champ d'image réglable, permettant une exposition optimale des motifs avec différentes plages de taille. Le stepper est compatible avec une variété d'outils d'imagerie, tels que les fiduciaires automatiques, les capteurs multi-alignés et les systèmes de caméra Z-Axis Air-float. Il offre également une variété de caractéristiques de précision et de répétabilité, de +/- 0,1 μ m pas à pas à +/- 5 μ m déplacements arbitraires. En outre, l'étage supporte des montures de plaquettes unifiées d'un diamètre maximal de dix pouces, offre une machine d'échange automatisé de substrat et est équipé d'un outil d'autopositionnement pour faciliter le changement de substrat. L'actif supporte également une gamme de capteurs, y compris des capteurs d'auto-mesure, de détection de bord de ligne et d'amélioration du contraste. Le stepper intègre également un contrôle thermique et un modèle de réduction des vibrations qui contrôlent la température de l'ensemble de l'équipement, le maintenant dans une plage de + 3 à + 20 ° C. Il fournit également un système de scanner qui peut tracer des objets ou des points avec une résolution de 0,2 μ m. Ces caractéristiques permettent un transfert et une répétabilité de motifs de haute précision. Dans l'ensemble, CANON FPA 3000I5 + est une unité de photolithographie de champ multi-étages très polyvalente avec un champ d'image réglable et une gamme de capteurs. Il a été conçu pour le transfert de motifs de haute précision vers d'innombrables substrats de plaquettes différents et est adapté pour de nombreuses applications dans la production de dispositifs semi-conducteurs.