Occasion CANON FPA 3000 i5 #9068403 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9068403
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1999
Fine pattern aligner, 8"
Reticle: 6"
RtL with ACT8 1.5BL (SG 24786)
Console:
HP 715
X-terminal
Auto feeder:
A/F type: Type-VI-L
W/F size: 6" flat
Inline: Yes
Edge exposure: No
Reticle changer: 6"
Library slot no: 12
Option: PPC
Cassette type: Nikon
Wafer stage:
Flat type
Laser interferometer: Zygo 3-axis
Chuck: 6" pin
Illuminator: i-Line Hg lamp
Clean chamber:
Rasco TBW-CD-83
Image rack:
No Part No Description
1 BG4-6632 TV Image CPU PCB
2 BG4-9715 ADP-2 PCB
3 BG9-4084 ACC-1 PCB
4 BG9-4085 ACC-2 PCB
5 BG9-3501 IMP2 PCB
6 BG4-6582 HRD Processing PCB
VME rack:
No Part No Description
9 BG4-6628 CAM UNIT
10 BG3-2462 Main CPU PCB
11 SPARE
12 SPARE
13 BG4-6631 CDIF PCB
14 BG4-6629 Stage CPU PCB
15 SPARE
16 BG4-9217 DSP
17 SPARE
18 BG4-6465 Measurement PCB (X)
19 BG4-6466 Measurement PCB (Y)
20 BG4-6467 Measurement PCB (Θ)
21 SPARE
22 BG4-9175 MLE IF PCB
23 BG4-9191 XY PRE2 PCB
24 BG4-6459 OFCD IF PCB
25 BG4-9151 FZANA PCB
26 SPARE
27 BG4-7937 CCD OPTF CAP2 PCB
200V/3P/28.0KVA , 200V/1P/4.5KVA
1999 vintage.
CANON FPA 3000 i5 est un pas de tranche de précision conçu pour la lithographie haute performance et la microfabrication avancée. Avec une taille de champ de 800mm x 800mm, CANON FPA 3000I5 est un équipement d'imagerie optique avancé capable de produire des mesures de haute précision jusqu'à 80nm de résolution. Le système est équipé d'une variété de fonctionnalités matérielles et logicielles, y compris une source laser Installed Source Deuterium (ISDe), un changement de masque de série amélioré, un amplificateur de scène nouvellement conçu et un logiciel de contrôle sur mesure. L'unité dispose également d'une performance d'imagerie jusqu'à 4K fps et d'un positionneur motorisé (MP-1400) pour un balayage précis, ainsi que d'un moniteur 2MP haute résolution pour la visualisation directe des images. FPA-3000 I5 est conçu pour des procédés de lithographie avancés tels que MEMS, semi-conducteurs et procédés de bio-fabrication. Ses capacités d'imagerie haute résolution permettent une meilleure précision et des rendements plus élevés, ainsi qu'un débit plus rapide. Sa source laser ISDe (Integrated Source Deuterium) permet une source lumineuse à large spectre, offrant plus de profondeur et de souplesse dans les processus de lithographie. Le nouveau changeur de masque de série est capable de manipuler plusieurs sources d'exposition et masques, offrant un plus grand niveau de précision et plus de flexibilité dans les processus. CANON FPA-3000 I5 comprend également des moteurs améliorés et des algorithmes de commande pour améliorer les oscillations d'étages et le balayage, ainsi qu'un amplificateur d'étages nouvellement conçu offrant une précision améliorée et des temps de mesure plus rapides. La machine comprend également un logiciel de contrôle personnalisé, offrant flexibilité et stabilité, ainsi qu'une meilleure convivialité. Cela garantit de meilleurs résultats et des mesures plus précises tout en minimisant les temps d'arrêt. Le FPA 3000 i5 est conçu avec une architecture modulaire, permettant une plus grande polyvalence et flexibilité lorsque vous travaillez avec différents défis d'application. Il est équipé d'un cadre ouvert, ce qui facilite son intégration avec d'autres systèmes. Le FPA 3000I5 est l'outil idéal pour réaliser des travaux de haute résolution, avec une précision et une précision maximales.
Il n'y a pas encore de critiques