Occasion CANON FPA 3000 i5 #9194604 à vendre en France
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ID: 9194604
Style Vintage: 1996
i-Line stepper
Console:
EWS: 715/100
Built in console: X-terminal
Auto feeder, 8"
Type 6: Right
PA Type: Flat
Inline
Edge exposure (EBR)
Reticle size, 6"
(14) Library slots
Cassette type: CANON
Option:
BCR: No
CBR: No
PPC,RPC: No
Wafer stage:
Type: Flat
Laser interfermeter: Zygo (No)
Chuck type: 2-Layer pin
Maintenance kit: No
Active mount
Illuminatior: 2kW
Clean chamber:
RASCO /TBW-CD-82
C-Oil level : Normal
UPS: No
Stepper: 3P, 200V, 33kVA
Missing parts:
D-Rack
PCB, P/S
1996 vintage.
CANON FPA 3000 i5 est un pas de plaquette haute performance conçu pour les applications semi-conductrices les plus avancées. Cette machine de pointe utilise une technologie unique et innovante appelée Amélioration de la résolution métrologie d'image (IRIM) qui fournit une amélioration de 25 % des performances optiques par rapport à d'autres paliers de wafer. Il dispose d'un équipement d'imagerie incroyablement haute résolution qui offre les résultats d'inspection les plus précis. CANON FPA 3000I5 utilise un laser à diode de forte puissance de 5 kW pour créer des images de la surface de la plaquette, qui est capable de balayer à une résolution de 5 microns. Le système IRIM utilise des interféromètres laser pour mesurer le profil de surface de la plaquette et fournit une mesure précise du profil à une profondeur de 1 micron. Ceci est réalisé en utilisant un élément optique diffractif (DOE) pour diviser l'image en quatre sections, qui peuvent ensuite être analysées par l'unité IRIM pour le plus haut degré de précision. La machine utilise également une option auto-focus pour assurer la plus grande précision possible de l'inspection. FPA-3000 I5 dispose d'un outil d'alignement de précision de pointe qui offre une précision dans toutes les directions pour assurer la plus haute qualité des résultats d'inspection. L'actif est équipé d'un étage tournant à grande vitesse, ce qui garantit que l'alignement est cohérent à 1 micron près, tout en maintenant une précision de 1,1 micron. Il comprend également un modèle d'entraînement de haute précision qui est capable d'entraîner jusqu'à 12 axes, fournissant la plus haute qualité d'alignement de plaquettes dans l'industrie des semi-conducteurs. L'équipement comprend également une variété d'outils de mesure avancés, comme un système breveté USB pour l'analyse des particules, un équilibre aérodynamique de haute technologie, et un puissant dispositif de pincement pour l'élimination des petites particules. L'unité de collecte de données en temps réel permet une analyse continue des données et des graphiques, ce qui donne aux utilisateurs un aperçu de l'état et des performances de leur plaquette. CANON FPA-3000 I5 est l'un des marchands de plaquettes les plus avancés sur le marché et fournit des niveaux impressionnants de précision et de résultats d'inspection. Offrant une amélioration de 25 % des performances optiques, cette machine offre la meilleure précision possible pour les processus semi-conducteurs complexes d'aujourd'hui. C'est un outil inestimable pour les entreprises de semi-conducteurs à la recherche du plus haut degré de précision et de résultats.
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