Occasion CANON FPA 3000 i5+ #9258600 à vendre en France
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Vendu
ID: 9258600
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Stepper, 8"
PC Model: EWS B180L
Wafer standard: JEIDA
Wafer type: Notch
Reticle type: 6"
Material: Quartz
Changer type: HITACHI
Case type: HITACHI
Optical system:
Magnification: 1/5
Field size: 22 mm
NA: 0.63~0.45
Screen size: 6"
Illumination system:
Ultra-high pressure mercury lamp 2.0 kW
σ: 0.7~0.3
Estimate exposure light control
(4) Independent blades
Wafer loader type: Notch, 8"
Wafer holder type: Notch, 8" TIO2
Wafer / Reticle alignment:
Clear vision field image processing
Wafer alignment:
Alignment light: HeNe Laser / Broad band
Mode: AGA
Reticle alignment:
Alignment light: i-Line
XY Stage:
3-Axes laser interferometer
Stroke:
X: 115mm ~ -115mm
YX: 115mm ~ -115mm
2000 vintage.
CANON FPA 3000 i5 + wafer stepper est un équipement avancé et répété produit par CANON pour les opérations de lithographie haut de gamme. Ce système est classé comme l'un des meilleurs systèmes de lithographie dans l'industrie de la lithographie. Il s'agit d'une plate-forme intégrée entièrement intégrée composée des composants de base : scanner i5, objectif, réticule et carte d'imagerie. Le scanner i5 est au cœur de l'unité. Il est capable de travailler jusqu'à deux fois plus vite que les scanners standard précédents et est très précis. Ce scanner est également équipé de la technologie de pointe CANON iMO (Intelligent Multi-level Optimization), qui fournit des solutions très fiables pour les applications avancées d'exposition qui nécessitent une grande uniformité de dose et la planéité de l'image. L'objectif CANON FPA 3000I5 + est un objectif d'aplatissement de champ conçu pour corriger les aberrations dans l'image focalisée. Ceci assure une meilleure résolution et cohérence des images. Le réticule est un type de neuf tranches, qui est conçu pour réduire les aberrations de fantômes et améliorer le contraste d'image. Enfin, la carte d'imagerie est intégrée au scanner i5 et à la machine à lentille afin de fournir un mécanisme de transfert d'image stable et précis. Cette carte d'imagerie est spécifiquement conçue pour des applications de lithographie haut de gamme, assurant que le motif produit à partir du réticule reste fidèle au design original. Dans l'ensemble, FPA-3000 I5 + wafer stepper est une étape avancée et outil de répétition qui fournit une plate-forme fiable pour les solutions de lithographie wafer. Avec ses composants de pointe, cet atout peut offrir aux utilisateurs la plus grande fidélité à l'image et une uniformité de dose ultra-élevée. En tant que tel, ce modèle est adapté à des applications en microélectronique, optoélectronique et autres opérations de lithographie de précision.
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