Occasion CANON FPA 3000 i5+ #9296955 à vendre en France

CANON FPA 3000 i5 + est un pas de plaquette, conçu pour exposer jusqu'à 300mm de plaquettes d'une manière très précise. Il dispose d'un module Lentille sur puce de 200mm, avec un champ d'application de 36mm, offrant une exposition de haute précision à 5 nanomètres de résolution. Le stepper est capable de gérer une large gamme de production de 6 "à 300mm, y compris LED, MEMS et d'autres applications optoélectroniques. Il est équipé d'un mécanisme d'autofocus d'alignement de 3 niveaux qui fournit une précision de sous-microns pour l'alignement des plaquettes. De plus, le moniteur d'exposition interne enregistre également les valeurs d'exposition à chaque prise d'exposition, fournissant un moyen fiable de suivre les performances du système. Équipé d'une unité d'alignement du faisceau interférométrique laser, CANON FPA 3000I5 + est capable d'aligner précisément chaque tir d'exposition. De plus, le stepper dispose d'une machine d'alignement sans capteur qui permet un alignement efficace de plusieurs matrices par champ. Cet outil fournit également la capacité de forage via ou des capacités d'alignement de tranchées. Dans l'ensemble, FPA-3000 I5 + améliore la puissance de résolution, la précision et la fiabilité de l'exposition. Le stepper offre également une variété d'options pour la maintenance optique et électrique. Il s'agit notamment de panneaux de commande de lampe, de panneaux de collimateur, d'amplificateurs de rétroaction, de panneaux d'alimentation, de panneaux de distribution de liquide de refroidissement et de panneaux de commande d'obturateur. En plus de ces options, l'actif est conçu pour protéger les plaquettes contre les dommages potentiels dus à l'exposition et au traitement. Pour ce faire, on utilise un dispositif de contrôle de la surexposition avec un mécanisme de rétroaction et des protecteurs de surdosage, ainsi que des mécanismes de détection des erreurs. FPA 3000 I5 + + est conçu avec minimisation de l'entretien en tête, et dispose d'un total de seulement 18 parties par bras, par rapport aux 25-45 parties habituellement nécessaires pour les marches de wafer. En outre, le stepper présente également un faible coût de propriété, ainsi qu'une réputation de performance à long terme. CANON, réputé pour son optique de précision, a également développé une précision d'alignement de 3 microns ou moins dans l'industrie, ainsi qu'un modèle de production qui compte en moyenne 166 wafers par heure. Dans l'ensemble, CANON FPA 3000 I5 + + est un pas de plaquette très fiable et précis, conçu pour produire des plaquettes de haute qualité pour diverses applications de production optoélectronique. Avec sa conception robuste, ses systèmes et ses options d'amélioration des performances, ainsi que son faible coût de possession, FPA 3000 i5 + est conçu pour fournir aux utilisateurs une solution fiable et précise pour leurs besoins de production.