Occasion CANON FPA 3000 iW #155018 à vendre en France
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Vendu
ID: 155018
Wafer stepper
Configuration:
Main Unit: FPA-3000
Illuminator: FPA-3000 I line
(2) A Scope (left and right): i-line, TTL
Reticle Stage: 6", Canon STD
(2) Reticle Sender (switching): Canon STD
U-Lens
B Scope: OFF-Axis
C Scope: OFF-Axis
Laser Head: Zygo, HeNe
CCD OPTF
OA Scope: OFF-Axis
Wafer Stage: Flat Stage
(3) Θ/Z-Tilt Unit (L, M, R): Piezo
(4) Support Mount: Passive Damper
Filter (XY Stage): HEPA
Reticle Changer
Reticle Robot: Type IV
Cassette Robot: Type IV
(14) Cassette Library: Canon STD
(4) Intermediate Library: Canon STD
PPC
Wafer Feeder: Type-VI-R
SCH: Type-VI
PA Unit: 8", Notch
SH: Type-VI-R
Lamp house, 2KW
EWS HP-9000 (712/100)
UPS
CD-80 chamber
(5) HEPA ceiling filter (air)
Power receive box, 3 phase, 200VAC
D-rack: Canon STD
Currently in a warehouse
Can be inspected.
CANON FPA 3000 iW est un pas de plaquette automatisé conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. La conception unique de l'unité lui permet d'aligner avec précision les plaquettes individuelles sur une ligne de production, garantissant un rendement optimal et une précision dans le traitement des plaquettes. CANON FPA 3000IW est équipé d'un équipement de transport unique qui utilise un système de servocommande pour positionner et régler les plaquettes avec précision. Cette unité peut être utilisée pour créer un chemin personnalisé à travers la ligne de production, permettant une production de meilleure qualité. L'unité est capable de 24 plaquettes par cycle, avec une capacité de charge pouvant atteindre 500 livres par plaquette. FPA-3000IW utilise une machine d'alignement Opto-Laser avancée pour détecter et identifier avec précision l'orientation de chaque plaquette. En combinant cette technologie avec le servomoteur, l'unité peut exactement repositionner la plaquette avec une précision accrue. L'actif est également capable de détecter des désalignements et des irrégularités mineures dans la surface de la plaquette, permettant une plus grande précision et intégrité lors de la manipulation des plaquettes fragiles. Le modèle de transport optique unique de l'unité optimise encore les opérations de production. L'unité dispose également d'une technologie de suivi rapide qui augmente la capacité de production, permettant un traitement efficace et fiable des plaquettes. FPA 3000IW dispose également de plusieurs composants supplémentaires qui optimisent les performances de production des plaquettes. L'unité est équipée d'un X-Y Wafer Chuck à commande pneumatique pour améliorer la stabilité et la précision. Un palier à air de précision permet un déplacement précis de la plaquette lors du traitement. De plus, l'unité dispose d'un environnement contrôlé par la température grâce à des ventilateurs haute vitesse à entraînement direct. L'environnement contrôlé par la température aide à réduire la contamination des plaquettes et la distorsion thermique. D'autres fonctionnalités avancées telles que l'inspection des plaquettes, l'étalonnage et les systèmes de gravure garantissent que chaque plaquette est traitée selon la norme la plus élevée. FPA-3000 IW est un pas de plaquette puissant et efficace idéal pour les lignes de production nécessitant un traitement précis et fiable des plaquettes. Utilisant des technologies avancées d'alignement, de transport optique et de contrôle de la température, l'unité est capable de produire de manière cohérente et précise des plaquettes de qualité de production. Avec ses performances élevées, son équipement rapide et sa variété de capteurs et d'accessoires, CANON FPA-3000IW est une solution idéale pour toute opération nécessitant un traitement précis, fiable et de haute qualité des plaquettes.
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