Occasion CANON FPA 3000 #293828112 à vendre en France

CANON FPA 3000 est un pas de plaquette conçu pour l'inspection et la lithographie avancée d'IC. Il est équipé d'un étage de réticule motorisé de haute précision à deux étages conçu pour améliorer le débit, augmenter la précision et réduire les vibrations. L'équipement optique haute performance CANON FPA-3000 est doté d'un design à six lentilles pour corriger les aberrations telles que le coma, la courbure de champ, l'aberration chromatique et la distorsion pour améliorer les performances d'imagerie et la précision d'impression. Le pas de plaquette utilise un aligneur automatisé intégré pour détecter les caractéristiques de la matrice et aligner la plaquette. L'aligneur est capable de détecter des caractéristiques aussi petites que la résolution d'un quart de micron, et la fonction auto-alignement peut être utilisé pour aligner la plaquette avec une précision allant jusqu'à 50 nm. De plus, le pas de plaquette dispose également d'un système de recouvrement intégré pour assurer un suivi précis des surfaces de plaquette. FPA 3000 est capable d'imprimer jusqu'à six cibles par tir, selon la taille de la plaquette. La résolution d'impression est aussi fine que 10 nm, et le pas est équipé d'une diode laser accordable en longueur d'onde conçue pour maintenir une intensité d'exposition constante et assurer des performances d'alignement optimisées. Afin de réduire les vibrations, FPA-3000 est équipé d'une table de vibration amortie et d'une unité d'isolation intégrée. Le tableau est conçu pour amortir les vibrations jusqu'à 0,2 Hz, tandis que la machine d'isolement réduit les vibrations de l'équipement jusqu'à 90 %. Le pas de plaquette est également doté d'un objectif F-3 breveté ultra-bas, ce qui améliore la précision en minimisant les aberrations dues aux réflexions internes des lentilles. CANON FPA 3000 est capable d'imprimer avec une variété de longueurs d'onde d'exposition, de l'ultraviolet profond (DUV) au visible (VIS). Il est équipé d'un powermeter laser intégré pour une mesure et un contrôle précis de l'exposition. L'étape de la plaquette comprend également plusieurs applications d'inspection intégrées, y compris la mesure des dimensions critiques (CD), la révision des défauts et l'analyse des motifs, ainsi qu'une bibliothèque d'algorithmes d'analyse des images post-lithographiques. Dans l'ensemble, CANON FPA-3000 wafer stepper est une machine de lithographie puissante qui peut être utilisé pour l'inspection avancée IC et la lithographie. Ses caractéristiques avancées comprennent un étage de réticule motorisé de haute précision à deux étages, un alignement automatisé pour une précision d'impression optimisée, une diode laser accordable en longueur d'onde et plusieurs applications d'inspection intégrées. FPA 3000 est conçu pour obtenir des résultats d'impression précis, et son powermeter laser intégré assure un contrôle précis de l'exposition.