Occasion CANON FPA 3030 EX6 #293817783 à vendre en France
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ID: 293817783
KrF stepper
Numerical Aperture (NA): 0.50.-0.65
Throughput (WPH): 200
DCO: 35
Resolution: ≤150 nm.
CANON FPA 3030 EX6 est un pas de plaquette très avancé conçu pour répondre aux exigences exigeantes des procédés modernes de fabrication de semi-conducteurs. Cet équipement intègre une technologie de pointe et des fonctionnalités innovantes pour offrir une haute précision et fiabilité dans le processus de photolithographie. Au cœur de FPA 3030 EX6 se trouve son système de lentilles de projection de pointe. Cette unité est conçue pour obtenir une résolution et une uniformité inégalées sur l'ensemble du champ d'image, assurant un tissage de haute qualité sur la surface de la plaquette. La machine à lentilles de projection dispose d'un agencement complexe de lentilles et de composants optiques qui travaillent ensemble pour focaliser et projeter l'image sur la plaquette avec une extrême précision. CANON FPA 3030 EX6 dispose également d'un outil d'alignement sophistiqué qui permet l'enregistrement précis du masque et de la plaquette pendant l'exposition. Cet actif d'alignement utilise des marques d'alignement avancées sur le masque et la plaquette pour assurer un recouvrement précis et minimiser les erreurs d'alignement. En réalisant un alignement précis, le modèle assure un transfert précis des motifs sur la plaquette, ce qui entraîne un rendement et des performances élevés du dispositif. En plus de ses capacités d'optique et d'alignement avancées, le FPA 3030 EX6 dispose d'une plate-forme très stable et résistante aux vibrations. Cette plate-forme est essentielle pour maintenir l'alignement précis et la focalisation requise pour le brassage à haute résolution. L'équipement est équipé de techniques avancées d'isolation des vibrations et de mécanismes de contrôle de la rétroaction pour minimiser les effets des perturbations externes et assurer un fonctionnement stable dans un environnement de fabrication de semi-conducteurs. L'un des points forts de CANON FPA 3030 EX6 est sa polyvalence et son évolutivité. Le système est conçu pour accueillir un large éventail de tailles et de types de plaquettes, ce qui le rend adapté à diverses applications de fabrication de semi-conducteurs. Que ce soit le traitement de petites ou de grandes plaquettes, l'unité peut être configurée pour répondre aux exigences spécifiques de différents noeuds de processus et conceptions d'appareils. Le FPA 3030 EX6 bénéficie également de capacités avancées d'automatisation et de contrôle logiciel. La machine est équipée d'algorithmes intelligents et d'outils logiciels qui permettent une configuration, un étalonnage et un suivi efficaces du processus d'exposition. Ces fonctionnalités rationalisent le flux de travail de fabrication et réduisent le besoin d'intervention manuelle, améliorant la productivité et le débit dans le fab. De plus, CANON FPA 3030 EX6 intègre des caractéristiques de sécurité avancées et des éléments de conception robustes pour assurer des performances fiables et cohérentes dans un environnement de production. L'outil est conçu pour résister aux exigences rigoureuses de la fabrication de semi-conducteurs et fonctionne avec une haute disponibilité et fiabilité. Dans l'ensemble, FPA 3030 EX6 établit une nouvelle norme pour les paliers de plaquettes avec ses capacités d'optique avancée, d'alignement, de stabilité, de polyvalence, d'automatisation et de fiabilité. Cet atout est idéal pour les installations de fabrication de semi-conducteurs à haut volume qui cherchent à obtenir une précision et une efficacité élevées dans leurs processus de photolithographie. Avec sa technologie de pointe et ses caractéristiques innovantes, CANON FPA 3030 EX6 offre aux fabricants de semi-conducteurs un avantage concurrentiel dans la production de dispositifs semi-conducteurs avancés avec des performances et une qualité supérieures.
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