Occasion CANON FPA 5000 ES2 #293817781 à vendre en France
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ID: 293817781
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.68
Resolution: 180 nm
DCO: 35
Throughput (WPH): 65-300.
CANON FPA 5000 ES2 est un pas de plaquette ultra-haute précision avec les capacités de précision et de résolution les plus élevées au monde. Il est capable de capturer les motifs sous-microns des dispositifs semi-conducteurs aux géométries et conceptions les plus avancées. Le FPA 5000 ES2 est équipé de l'équipement de cartographie photo ultra haute résolution (UHRM) de CANON qui permet une imagerie précise de résolution de 0,25 um (90nm) avec une précision de recouvrement de 0,1 micron (30nm). La conception avancée de l'optique et le revêtement avancé de la lentille haute ondulation réduisent les aberrations et corrigent efficacement les distorsions chromatiques et lrfocus. Le système d'éclairage LED haute puissance est étroitement intégré à l'objectif et au cadre optimisés de la plaquette pour garantir des temps d'exposition précis, une répétabilité et des résultats d'imagerie optimaux. Les moteurs linéaires très précis et fiables utilisés dans CANON FPA 5000 ES2 permettent un micro-mouvement extrêmement précis et répétable de l'étage de plaquette et exposent le temps. L'étage de plaquette motorisé est aligné sur une précision de 0,02 micron et s'ajuste automatiquement pour assurer la précision et les performances indépendamment des changements de piste dans le temps. Le FPA 5000 ES2 intègre également une unité unique de contrôle auto-apprentissage CANON qui reconnaît les caractéristiques des modèles d'appareils et optimise l'exposition pour leur convenir. Cette machine innovante permet une excellente uniformité d'image et une qualité d'image supérieure. Le wafer stepper dispose également d'un outil d'automatisation avancé pour coordonner la production de dispositifs semi-conducteurs. Le logiciel peut s'intégrer aux systèmes d'usine actuels et peut être personnalisé pour répondre aux besoins spécifiques de l'environnement de production. Dans l'ensemble, CANON FPA 5000 ES2 est l'outil idéal pour produire les dispositifs et composants semi-conducteurs les plus complexes. Ses capacités d'imagerie avancées, ses moteurs linéaires de précision, son contrôle de mouvement et ses systèmes de production automatisés lui permettent d'offrir des performances optimales dans des scénarios exigeants.
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