Occasion CANON FPA 5000 ES2 #9200128 à vendre en France

CANON FPA 5000 ES2 wafer stepper est un équipement d'imagerie sophistiqué. Il est conçu pour transférer un motif haute résolution et haute précision sur une seule plaquette. L'étape se compose de quatre composants : une source optique, un système de lentilles de projection, une lentille de champ et un générateur de motifs. La source optique abrite une lampe à forte puissance, des fentes et pixels amplifiés et des condenseurs de source. La machine à lentilles de projection utilise plusieurs lentilles disposées dans un outil catadioptrique pour fournir une image de projection fiable. L'actif de la lentille de champ est constitué de deux étages motorisés de rotation réciproque (TRRR). Cet étage compense la distorsion cylindrique de la surface de la plaquette, assurant un positionnement précis du motif sur l'ensemble de la plaquette. Le générateur de motifs TTLI génère un motif binaire qui est transmis au modèle de lentille de projection. L'équipement offre une résolution maximale de 0,34 µm et des tailles de motifs jusqu'à 22 mm x 22 mm. En plus du pas de plaquette, CANON fournit également une suite d'autres accessoires tels que les systèmes d'alignement et d'enregistrement sur le terrain, les systèmes d'environnement à faible vibration et le fonctionnement automatisé à distance. FPA 5000 ES2 fournit le plus haut niveau de précision et de précision disponible sur le marché. Il a été utilisé dans diverses applications telles que la fabrication de LED, de semi-conducteurs et d'interconnexions de semi-conducteurs. C'est un choix idéal pour les laboratoires de recherche et de production.