Occasion CANON FPA 5000 ES2+ #9200129 à vendre en France

CANON FPA 5000 ES2 + wafer stepper est une solution de lithographie de pointe conçue pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés. Il s'agit de la dernière évolution de la série ES2 des marches de wafer et offre des performances d'imagerie améliorées et une productivité accrue. En tant qu'équipement centré sur l'examen, CANON FPA-5000 ES2 + a été conçu avec une gamme impressionnante de fonctionnalités pour aider les utilisateurs à atteindre leurs objectifs de fabrication d'appareils. L'étage de balayage de FPA 5000 ES2 + est le cœur du système et dispose d'un servomoteur d'axe de balayage ultra-précis qui assure un mouvement lisse avec une accélération angulaire et une vitesse très faibles. Ceci offre d'excellentes performances de recouvrement et une stabilité à long terme dans les mesures de recouvrement. L'unité dispose également d'une grande capacité de champ de vision (FOV) avec des zones maximales jusqu'à 17 pouces carrés. Avec des vitesses de balayage élevées de 850 microns par seconde, il est capable de débit rapide. Les optiques de FPA-5000 ES2 + sont conçues pour combiner haute performance et stabilité. Il offre une grande profondeur de focalisation (DOF) à 0,8 µm et une ouverture numérique avancée (NA) qui atteint 50 mm. Il présente également une excellente uniformité d'exposition avec une stabilité à long terme (LTS) de 0,2 % à 0,5 ° d'inclinaison et 50 mW/cm2. Pour compléter la machine, CANON FPA 5000 ES2 + est équipé d'une source d'éclairage avancée Deutérium et Xenon qui offre des performances optiques supérieures et une stabilité sans être affectée par les conditions environnementales. Il propose également un outil automatisé TOPSENCHECK AXIS qui permet un alignement précis des échantillons lors de la fabrication des appareils. En plus de ses performances impressionnantes, CANON FPA-5000 ES2 + offre également d'excellentes fonctionnalités de maintenance des actifs et de documentation. Il comprend une exquise API SmartScope en temps réel qui permet aux utilisateurs de visualiser, surveiller et contrôler les composants du microscope, tandis que le logiciel intégré de microscopie électronique à balayage (SEM) facilite la visualisation et l'observation des données transversales pour l'analyse des processus. Au total, le FPA 5000 ES2 + est un pas de plaquette avancé conçu avec une suite améliorée de fonctionnalités d'imagerie, de performance et de maintenance pour la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs. Avec sa technologie de pointe, FPA-5000 ES2 + est l'un des paliers les plus fiables pour l'imagerie haute résolution, la stabilité à long terme et le débit élevé.