Occasion CANON FPA 5000 ES2 #9273145 à vendre en France

CANON FPA 5000 ES2 est un pas de plaquette haute résolution avec une capacité de résolution de 65 nm. Il s'agit d'un appareil à pas sec de type immersion qui utilise une source de lumière UV émettant dans le collecteur de 240nm. Il permet la microfabrication de transistors, condensateurs, diodes et autres composants semi-conducteurs avec une grande précision et vitesse. Le système supporte également l'alignement de recouvrement, avec une précision d'alignement de ± 1.2nm, et la précision de positionnement des plaquettes de ± 1.2nm. Cette unité contient une machine d'alignement de masque (MAS), une caméra CCD 4K avec un champ de vision de 564mm, et un étage de précision. Le MAS est doté d'une disposition optique de type immersion pour la haute résolution avec une taille maximale de 519,2 mm x 529,2 mm. Il offre des performances d'imagerie optimisées et une stabilité exceptionnelle pour une production à haut volume. La caméra CCD 4K offre une gamme dynamique étendue pour obtenir une précision d'imagerie supérieure et un contraste de masque plus élevé. La caméra CCD 4K a une caractéristique de bruit très faible, réduisant la quantité de données à stocker, tout en fournissant une excellente résolution. L'étage de précision offre une plate-forme technique rapide, précise et très fiable pour des opérations d'alignement fin et de microfabrication précises. Il fournit la résolution maximale de 5 nm pour le modelage d'ultra précision. FPA 5000 ES2 est livré avec Smart Exposure Control (SEC) pour assurer la répétabilité et atteindre un haut débit. Il dispose également d'un facteur d'optimisation de disposition réglable pour améliorer la capacité de détecter les défauts ou les erreurs dans le masque. L'outil est facile à entretenir et dispose d'un actif de détection automatique intégré qui automatise le traitement des paramètres d'exposition optimaux. Il peut être exploité par plusieurs utilisateurs simultanément, chaque utilisateur pouvant personnaliser ses paramètres. La machine offre également une garniture automatique et la réparation des impressions de test et de production. Il dispose d'un mode de vue couleur complète et d'un mode de superposition en temps réel pour une évaluation précise des motifs réticulaires et des composants des petits appareils. Une gamme de mises à jour matérielles et logicielles sont également disponibles pour améliorer la sécurité, la facilité d'utilisation maximale et la capacité à relever les défis de production les plus avancés.