Occasion CANON FPA 5000 ES3 #293609498 à vendre en France

CANON FPA 5000 ES3 est un pas de tranche qui utilise la photolithographie de haute précision pour la microfabrication. C'est un équipement modulaire qui peut être personnalisé pour des applications spécifiques et il fournit un rendement et un débit élevés avec un excellent coût total de propriété. Les composants principaux du système sont le noyau pas à pas, l'étage principal, l'étage réticulaire, l'unité d'exposition et le sèche-linge. Le coeur de pas est composé d'une plate-forme de microstepper et d'un microdisplay à cristaux liquides (LCD) qui permet à l'utilisateur de sélectionner et de visualiser l'image. Le noyau pas à pas est également équipé d'un codeur haute résolution pour permettre un alignement précis des plaquettes. L'étage principal comporte deux axes d'entraînement à haute résolution pour l'alignement et le positionnement des plaquettes. Il dispose d'une structure porte-air ultra-haute précision qui augmente encore la précision. L'étage principal dispose également d'un chargeur automatisé intégré et d'une chambre environnementale pour protéger la machine contre les fluctuations environnementales. L'étage réticulaire comporte deux moteurs linéaires pour un déplacement lisse et précis du réticule dans le sens X, Y et Z. Il est équipé d'une diode laser de forte puissance pour un alignement laser optimal. Le porte-réticule est conçu pour une stabilité de déflexion optimale et élimine les effets réticulaires. L'outil d'exposition est équipé d'une source de plasma isotrope pour l'éclairage à grande vitesse et d'un actif d'éclairage polarisé circulaire pour améliorer la qualité de l'image. Il dispose également de systèmes de contrôle avancés et de logiciels pour l'alignement des plaquettes et l'imagerie. CANON FPA 5000ES3 comprend également un modèle de séchoir/enrobeur qui utilise la pression directe et le vide pour enrober la résine photosensible de la plaquette. L'équipement de séchage/enrobage est contrôlé en température et assure un revêtement et un séchage uniformes. Dans l'ensemble, FPA-5000 ES3 est un pas de plaquette de haute précision qui offre un rendement élevé, le débit et un excellent coût total de possession. Sa conception modulaire permet une personnalisation et une mise à niveau faciles tandis que ses systèmes de contrôle et logiciels avancés permettent une imagerie photolithographique précise et un alignement réticulaire.