Occasion CANON FPA 5000 ES3 #9114874 à vendre en France

CANON FPA 5000 ES3 est un équipement pas à pas de plaquettes qui fournit précision et précision dans la production de circuits intégrés semi-conducteurs. Il est conçu avec un système optique de balayage et d'alignement, balayant deux distances perpendiculaires sur toute une couche de circuit pour aligner précisément sa position. L'unité utilise une conception de lentille améliorée avec une précision de 3,5 microns sur 200 millimètres de surface active. Il dispose également de trois systèmes d'optique et d'éclairage indépendants, permettant une imagerie à plus haute résolution et une plus grande gamme dynamique. CANON FPA 5000ES3 comprend un gestionnaire de plaquettes haute vitesse qui assure un alignement automatique et une transition rapide des plaquettes avec des capacités de chargement et de chargement. Ses expositions motorisées d'images se chevauchant sur la plaquette sont réalisées avec une résolution nanométrique, assurant une plus grande uniformité et précision. La machine dispose d'une zone de balayage allant de 10 à 200 millimètres avec la possibilité de manipuler des substrats jusqu'à 200mm. De plus, FPA-5000 ES3 utilise un étage motorisé piloté par un logiciel capable d'obtenir une répétabilité de +/- 0,1µm (λ/10) pour les mouvements en z-axes. Cette caractéristique est complétée par sa technologie d'alignement optique pour une précision accrue et une qualité d'image supérieure. L'outil dispose d'un atout breveté d'éclairage laser qui combine balayage laser proche infrarouge et imagerie de lumière blanche qui fournit un contraste et une résolution supérieure pour des mesures de superposition de haute précision. Il dispose également d'un modèle unique de manutention de plaquettes qui prend en charge les substrats de 8 et 12 pouces. FPA 5000 ES3 offre également des capacités d'automatisation avancées, telles que les fonctions d'auto-alignement, d'auto-chargement et d'auto-mesure. Son équipement breveté d'alignement laser permet d'améliorer la précision de chaque couche. En outre, le système est livré avec une conception opto-mécanique qui élimine le besoin d'un microscope séparé, permettant un débit plus élevé. FPA 5000ES3 offre une gamme de mises à niveau et d'accessoires tels que l'auto-déplacement multidimensionnel, les lentilles auxiliaires et les pompes haute pression pour un meilleur contrôle des particules. Ses fonctions diagnostiques avancées permettent aux utilisateurs d'identifier rapidement les problèmes et de prendre les mesures correctives appropriées. Son logiciel est convivial, et l'unité est très fiable lors de la manipulation des matériaux et des substrats de plaquettes. Il peut également être utilisé dans le traitement des plaquettes, la microfabrication et la lithographie.