Occasion CANON FPA 5000 ES3 #9123442 à vendre en France
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CANON FPA 5000 ES3 Wafer Stepper est une machine de lithographie optique de haute précision conçue pour produire de petits composants électroniques précis. Ce modèle pas à pas utilise un système d'éclairage à balayage avancé pour transférer optiquement un motif sur un photomasque, ou réticule, sur une plaquette. La machine a une longue profondeur de mise au point et des tailles de 0,50 à 5 microns, ce qui la rend parfaite pour créer des circuits intégrés haute densité (IC), des systèmes micro-électromécaniques (MEMS) et d'autres composants électroniques avancés. La plate-forme FPA offre une grande surface de travail de 450mm x 450mm et peut manipuler des substrats jusqu'à 6 pouces de diamètre. Ce pas avancé a une homogénéité améliorée de 4,5 microns ou mieux et une irradiation maximale en plein champ de 2000 mW/cm2. En outre, il offre un espace de focalisation variable de 10-30 μ m avec une profondeur de focalisation exacte de ± 1 μ m et un petit diamètre de tache de 5 μ m ou moins. Il comprend également un diffuseur à haut rendement qui minimise la dégradation des photomasques. CANON FPA 5000ES3 Wafer Stepper a été conçu pour une utilisation dans des environnements de production à haut volume, offrant une productivité accrue et des temps de cycle réduits. La machine dispose d'un mode d'exposition haute vitesse à la R&D qui permet aux utilisateurs de développer des prototypes de dispositifs rapidement et facilement. Il dispose également d'une mémoire embarquée massive qui stocke jusqu'à 60 000 motifs de plaquettes et 500 réticules. Ce modèle pas à pas utilise des processus avancés d'alignement automatique qui assurent des résultats lithographiques cohérents et précis. FPA-5000 ES3 Wafer Stepper a été conçu pour une production à faible coût et une application ultra-haute précision, offrant un équilibre entre les performances, la fiabilité et le coût. Il dispose d'une plate-forme robuste et fiable avec une interface utilisateur intuitive, et des fonctions de maintenance et de sécurité complètes. Ce modèle pas à pas permet également l'automatisation complète des systèmes d'exposition, d'inspection et de mesure pour améliorer la précision et la vérification. En outre, il offre une gamme complète d'outils d'ingénierie tels qu'un convertisseur de recettes, un gestionnaire de paramètres, des alignements paramétriques et un simulateur litho.
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